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浜松ホトニクスは、光の技術集団として、光の基礎研究と各種光関連製品の開発・製造・販売を行っています。
表面・内部の微細パーティクル/欠陥検出に最適なQPM光学モジュール
QPM（定量位相顕微鏡）光学モジュールは、微小な欠陥や凹凸を測定する光学モジュールです。弊社独自の技術により、筐体の小型軽量化と高速測定（高リアルタイム性）を実現しています。外観検査システムに組み込むことにより、インライン対応を可能にするとともに、トータルコスト低減にも貢献します。
従来の半導体ウェーハ表面の測定を行うモデルに加え、半導体内部の欠陥検出にも対応すべく、ガラスなどを対象とした可視光モデルと、可視光を透過しないSiなどを対象としたIRモデルの開発を進めています。
浜松ホトニクスが提供するブロードバンド光源
弊社は2024年にNKT Photonics社を買収しました。NKT Photonics社はフォトニック結晶ファイバーの製造技術を保有しており、その要素技術を活かしたレーザ製品群は、優れた特長により幅広い用途で使用されています。特に広波長範囲かつ高い指向性を持つスーパーコンティニューム光源（SuperK）は、微細化が進む半導体デバイスの高精度な計測・検査でのニーズの高まりに応えています。
また、2017年には高輝度なレーザ励起光源を保有するEnergetiq Technology社を買収しており、弊社のキセノンランプも含め、非常に広い波長範囲でのブロードバンド光源のラインアップを実現しました。
これにより、お客様のニーズに合った最適な光源の提案に加え、検出器を組み合わせたソリューション提案を推進してまいります。
弊社独自技術により、筐体の小型軽量化と高速測定（高リアルタイム性）を実現しています。外観検査システムに組み込むことにより、インライン対応を可能にするとともに、トータルコスト低減にも貢献します。
次世代白色光源です。
紫外～赤外(170 nm～2500 nm)の広い発光波長と、高輝度点発光(発光点サイズ:最小Φ0.1 mm)・長寿命の高い性能を実現しました。 発熱の少ない小型ランプヘッドを持ち、限られた空間での実験や装置組み込みに最適です。また、ランプヘッドに自然空冷方式を採用したことで冷却ファンによる振動がなく、光出力安定性にも優れます。
拡散照射タイプとファイバ照射タイプをご用意しています。
最先端の半導体検査や膜厚測定などで採用が始まっています。
輝度・色温度が高く、紫外～可視～赤外にわたって連続スペクトルを放射するため、分光光度計など各種測光用光源として極めて理想的なランプです。高性能陰極の採用により従来ランプの問題点を解決し、精密測光用ランプとして幅広く活躍しています。