東京インスツルメンツ

TigerOptics社のHALO3シリーズは、キャビティリングダウン分光法(CRDS)によりサンプルガス中の特定のガス分子の濃度をpptレベルの超高感度で測定するガス分析装置です。

従来のガス分子濃度測定法に比べ、標準ガスによる較正が不要で、精度・信頼性が高く、応答速度が早い等のメリットがあります。装置はワンボックス型で可搬性にも優れています。

特長

• NIST準拠
• 高速応答・高感度・高精度・高信頼性
• 簡単操作・メンテナンスフリー
• コンパクトなワンボックス型
• サンプルガス中のH2O, CO, CO2, CH4, HFなどの微量な分子濃度を高感度測定
• 広い測定濃度範囲（N2ガス中のH2O濃度：400ppt～20ppm, HALO KA H2O）
• イーサネット・絶縁4mA～20mA出力・RS-232対応

用途

• 極微量ガス濃度の計測・管理
• 半導体等製造工程中のガスモニタリング
• 湿度計測・湿度標準の研究開発

TigerOptics社のSpark H2Oは、キャビティリングダウン分光法(CRDS)によりサンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定を行うガス分析装置です。

従来の露点計などの水分測定法に比べ、標準ガスによる較正が不要で、精度・信頼性が高く、応答速度が早い等のメリットがあります。装置はワンボックス型で可搬性にも優れています。

用途

• 極微量水分濃度の計測・管理
• 半導体等製造工程中のガスモニタリング
• 湿度計測・湿度標準の研究開発

特長

• NIST準拠
• 高速応答・高感度・高精度・高信頼性
• 簡単操作・メンテナンスフリー
• コンパクトなワンボックス型
• 水分濃度（露点）計測に特化したローコストモデル
• 広い測定濃度範囲（N2ガス中のH2O濃度：15ppb～2000ppm）
• イーサネット・絶縁4mA-20mA出力・RS-232対応

Attolight社の、SEMとカソードルミネッセンス光学系を完全一体化した、世界唯一の低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システムです。
面倒な光学調整が一切不要の独自光学設計で、DUV-NIRまでをカバー、歪のない広い観測視野、高速スペクトルマッピング、低温測定を実現。さらにストリークカメラと組み合わせて、ピコ秒時間分解測定も実現。
　基礎研究・開発から品質管理など産業用途にまで対応する、これまでのCL-SEMの常識を覆す顕微鏡システムです。

特長

• 電子レンズと高NA (0.71)光学対物レンズを一体化
• SEM像と同一視野のCL像を観察
• 面倒な鏡調整は一切不要
• 超高感度・高速マッピング測定
• 歪みのない広い観測視野：～ 300 μm
• SEMとCLを統合的に操作・測定
• 観測波長：180 nm ～ 1.6 um
• 高精度6軸ステージ
• 低温測定：10 K ～
• パルス電子源によるピコ秒時間分解測定
• フォトルミネッセンス(PL)測定

用途

• LED材料の評価
• ワイドギャップ材料の評価(GaN, SiC, Ga2O3)
• 太陽電池やパワーデバイスなどの開発、品質管理、故障解析
• ナノスケール光デバイスの評価 (プラズモニクス)
• キャリアの蛍光寿命やダイナミクス観察
• EBIC像/CL像/SEM像の同時複合測定

測定例

ウェハー分析:6インチGaNウェハーの全面及び局所マッピングイメージ

GaNウェハー全面の
カソードルミネッセンス
強度イメージ(362 nm)
*測定時間:約15分

各種局所イメージ

ウェハー専用モデル外観

欠陥評価:エピタキシャル層の欠陥計数

カソードルミネッセンス強度イメージ(365 nm)

欠陥評価:薄膜太陽電池のピンホール検出

超高感度設計により、25x25 um領域の測定を約1分で実現

カソードルミネッセンス強度イメージ
(25x25um、256x256点、65秒)

ピンホール欠陥があるとその位置から青色光が発光

Siテクノロジー:Siの点欠陥と線欠陥の同定

InGaAs検出器の搭載により、近赤外領域の測定も可

ZnO NWsの時間分解カソードルミネッセンス測定

パルスレーザーにより電子銃をパルス化することで時間分解測定を実現

窒化ホウ素（BN)の時間/波長分解カソードルミネッセンスイメージ

欠陥評価

新チャネル材料(InPトレンチ)の欠陥検出

Collaboration - IMEC, Unpublished results

パワーデバイス　3C-SiC、4H-SiC

Collaboration – Anvil Semiconductors

GaNテクノロジー

GaNレイヤーのCL分析

CL強度イメージ

SEMイメージ

GaNテクノロジー

各レイヤー毎の平均Al濃度分析

CL強度イメージ

SEMイメージ

GaNテクノロジー

AlGaNレイヤ-のCL分析

CLスペクトル

CLピークシフト分析に
基づくAl比率の同定
(精度：1% 以下)

Collaboration - Fraunhofer IMWS
Unpublished results, F. Altmann

GaNテクノロジー

AlGaNバッファーレイヤーの歪みマッピング

故障解析

InGaN/GaN グリーンレーザーダイオード

レーザー(新)の平均CLスペクトル

‘Nanoscale Investigation of Degradation and
Wavelength Fluctuations in InGaN-based
Green Laser Diodes’
IEEE Transactions on
Nanotechnologies 15, 274 (2016)

Collaboration - Univ. Padova & Cagliari
Profs. M. Meneghini, G. Meneghesso, M. Venzi & E. Zanoni

故障解析

CIGS太陽電池の組成変動分析

CLのピーク波長イメージ

CLのFWHMイメージ

平均CLスペクトル

Collaboration - Empa (Switzerland) B. Bissig

ナノフォトニクス

歪みに起因するバンドギャップシフト (GaN/AlGaN core-shell NWs)

GaN coreのCLスペクトル

AlGaN shellによって誘起されたGaNコアへの圧縮歪みをCLスペクトルで観察

・点1 - 歪み無しGaN
・点2 & 3 - 歪みGaN
→ CLスペクトルが紫外側へシフト

‘Strain-Induced Band Gap Engineering in Selectively Grown GaN–
(Al,Ga)N Core–Shell Nanowire Heterostructures'
Nano Lett. 16, 7098–7106 (2016)
Collaboration - EPFL
A. Fontcuberta i Morral

ナノフォトニクス

局所状態密度イメージングInGaN/GaNマイクロディスクのWhispering gallery modes (WGM)

‘Effect of Threading Dislocations on the Quality Factor
of InGaN/GaN Microdisk Cavities’
ACS Photonics 2, 137-143 (2015)

Collaboration - Univ. Cambridge - T. Zhu & R. Oliver

• ・Enviro METROS LAB：サンプルサイズ最大80×80mm対応
• ・Enviro METROS FAB：8インチ、12インチウェハ対応

"Envio METROS"は、これまでのX線光電子分光装置の常識を打ち破る画期的な製品です。
圧力環境を超高真空から準大気圧(オプション)まで変化させることにより、これまでは不可能であった生体サンプルや固液、気固界面でのオペランド計測が可能となります。また、準大気圧環境で使用可能なUPS光源やIRRAS、SEMなどのバラエティ豊かなオプションにより、様々な測定をこの1台で行うことが可能です。

特長

• 幅広い圧力範囲：UHV～NAP（5000 Pa）まで対応
• サンプル搬送から測定まで全自動
• マルチカラーX線源（Al, Ag, Cr）
• 取込角：±30°
• 深さ分析
• 8、12インチウエハをそのまま測定
• 豊富なオプション (Raman、IRRAS、SEM、IPES)
• ユーザーフレンドリーな専用ソフトウェア