クロマジャパン

コスト効率の高い高性能テストシステム

Chroma 3650-S2は、高い生産性とマルチサイトを持つテスト能力を備えており、チップデザイン会社、IDM、OSAT工場に最もコスト効率の高いソリューションを提供し、パワーIC、アナログIC、化合物半導体MCUの測定に最適です。

3650-S2は、HDDPS2、HVVI、VI45、PVI100、MPVIなど、さまざまなVIオプションボードを提供し、高密度、高電圧、大電流、高精度のテスト機能を備えています。最大768個のデジタルおよびアナログチャンネルをサポートし、高性能、高生産性、そしてコスト効率の良いテストソリューションを提供します。

高並行測試能力

3650-S2は、高機能なマルチPEを備えており、複数のピンで同時に同じパラメータのテストを行うことができます。3650-S2は64個のデジタルチャネルを1つのLPC基板に統合しており、各LPC基板には16個の4チャネルのタイミング信号発生器を持つ高性能Chroma PINF ICsが搭載されています。

基板上の制御チップは信号の配分とデータの読み出しを管理し、テストシステムコントローラーの負担を軽減します。3650-S2は「any-pin-to-any-site mapping」設計を採用しており、最大32サイトのマルチテスト能力を提供します。この柔軟で直感的なリソース配分により、量産に適合します。

柔軟な配置と幅広いアプリケーションのカバレッジ

半導体製造は急速に進化する産業であり、資本設備は世代交代やさまざまなアプリケーションに対応できる必要があります。Chroma 3650-S2は、AD/DA変換器テスト、ALPGを用いたメモリーテスト、高電圧PE、Multi-SCANテスト、アナログテストなど、さまざまなオプション機能を提供しており、柔軟な構成により将来のテストニーズに応えることができます。

コンパクトな設計

Chroma 3650-S2は、空冷式の冷却システムと高度に統合されたテストヘッドデザインを採用しており、最小の設置面積で高生産性を提供します。異なるスタンドを選択することで、3650-S2は同一品目やパッケージテストにも対応できます。

CRISP 完全ソフトウェアの直感的な操作環境

Chroma 3650-S2は、Chroma統合ソフトウェアプラットフォームであるCRISPというソフトウェアツールを採用しており、ユーザーは効率的にテスト開発を行うことができます。CRISPはデバッグ、量産、データ分析などの機能をカバーしており、テストプログラム開発、テスト実行管理、データ分析、テスタ管理など、すべてのソフトウェア機能を統合しています。Microsoft WindowsオペレーティングシステムとC++プログラミング言語を使用し、ユーザーに強力で迅速、かつ直感的な操作を提供するGUIツールを提供します。

両面検査

化合物半導体ウェーハの場合、切断後に発生する裏面の欠陥（例えば、剥離や崩壊）により欠陥が発生する可能性が高いので、回避するための検査が重要です。欠陥は正面から確認できないため、ユーザーはウェーハの裏面も検査を行います。同時に両面を検査することで、正面と裏面の結果を一度のスキャンで取得し、検査時間と合併症を大幅に削減できます。

色彩システム

異色検査は化合物半導体検査において重要な課題の一つです。膜厚の不均一により発生する色むらは、検査結果に誤差をもたらすことがあるため、検査システムは高精度の色情報を備えている必要があります。これにより、ユーザーは高コントラストの色彩検査を選択し、検査精度を向上させることができます。

結晶分布フォーマット

Chroma 7945は、csv、SEMI XML、SNIF、STIF、KLARFなど、さまざまなウェーハマップフォーマットをサポートしており、ユーザーは異なる製造プロセスにおける欠陥の分布や成因を分析し、前工程での検査結果と組み合わせて分類できます。

Chroma ハイブリッドシングルサイトテストハンドラー 3110は、120x120mmまでのデバイスサイズを扱うことができ、最大450kgの力負荷（オプション）に対応するフルレンジのATC（アクティブサーマルコントロール）テストハンドラーです。さまざまな温度制御ユニットが選択可能で、応答時間を最小限に抑え、テストの精度を確保します。Chroma 3110は、高精度および高出力デバイスの特性評価やその他の重要なアプリケーション向けに特別に設計されています。ロボティクスは極端な温度範囲である-70°Cから150°C（オプション）で正確に操作でき、環境条件を±2°Cの範囲内で制御できます。

TCU（温度制御ユニット）のオプションは、熱ランプ制御と温度フィードバックに対応しており、より精密な制御を可能にします。これにより、従来の方法よりも大幅に改善され、サンプルの整合性に起因する問題によって変動し不安定な結果をもたらすことがなくなります。

Chroma 3110は、最適な利便性のために設計された独自の機能セットを備えており、直感的なGUIと共通インターフェースにより、さまざまなATEおよびSLTプラットフォームの簡単なドッキングを実現しています。Chromaは、温度制御機能を強化し、ATC機能を可能にすることで、検査コストを削減するだけでなく、先端のサプライチェーンによって規定された半導体エンジニアリング相関テスト基準に対するテスト精度を向上させています。