巴川コーポレーション

当社独自の技術のステンレス繊維シートを使用することで、以下の優れた特性を実現しています。

温調されている冷却水や気体の温度をさらに安定化し、温度変動を最小化します。
 

【用途例】

・高精度チラー冷却水の温度安定化

　チラーによって±0.05℃に制御された冷却水の温度をさらに安定化させ、±0.02℃まで変動を抑制

・クーリング時のウェハー温度安定化

　本ユニットをウェハーのクーリングプレートに使用することで、温度降下中のウェハー表面の温度をより均一に維持

これまでの液状接着剤は、高い接着強度・耐熱性があるものの、接着テープと比べて作業性に課題がありました。
当社の熱接着フィルムは、熱硬化接着剤をシート化しており、接着強度・耐熱性・柔軟性と作業性を両立します。
また、常温で保管可能なため、冷蔵庫等の特別な設備も必要ありません。
5μmから提供可能なため、部品の低背化や熱抵抗低減も可能です。

【用途例】
・受動部品（チップ抵抗器など）
・自動車用部品
・各種装置部品・治具
・FPCやFFC等回路基板材料

【適用可能な素材】
金属：SUS、銅、アルミ、ニッケルなど
樹脂等：ポリイミド・ガラスエポキシ・FRPなど
セラミック等：アルミナ・ガラスなど

独自開発の熱硬化接着処方により、以下の優れた特性を実現しています。
・各種被着体（銅・金・アルミナ・シリコンなど）に、常温で貼り付け可能
・熱処理工程後は常温で剥離可能
・リフロー工程や、プラズマ・フラックス洗浄などのDry・Wet工程に対応
・PFASフリー

【用途例】
・部品の工程搬送用
・FO-WLPなどシリコン基板等への仮固定
・高温環境下でのマスキング（メッキ､半田､溶射等）
・リードフレームパッケージの樹脂漏れ防止