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出展社詳細検索を頂き誠にありがとうございます。 京セラ株式会社です。
京セラは、ファインセラミックスのリーディングカンパニーとして、長年培ってきた高度な技術と開発力で、あらゆる産業の新製品や生産性の向上に貢献し、技術社会の未来を拓きます。
本展示会では、すべての技術者に知っていて欲しい「ファインセラミックスの魅力」を展示致します。 ※ファインセラミックスとは、機械、電磁気、熱、光学、生化学の特性を高度かつ複合的に持たせることが可能な素材です。
配線の微細化、多層化が進む半導体製造装置にセラミックスが広く採用されています。露光装置には、軽量高剛性なセラミックス、エッチングや成膜装置には、耐プラズマ性や低パーティクルに加え、耐熱性や、低誘電損失の特性をもつセラミックスの採用が拡大しています。
ウェハー搬送アームでは、高精度で機械的特性の優れたセラミックスが採用されています。また、光透過性が必要な窓やウェハーキャリアプレート、ウェハーコンタクトリフトピン、プラズマ導入菅などに、サファイアが使用されています。材料技術・プロセス技術・設計技術・
計測/評価技術などの幅広い技術と、材料から製品までの一貫工程を自社に保有している為、様々なカスタマイズに対応可能です。まずはお気軽にお問合せ下さい。
🔶セラミック製エアスライドの特徴
・繰り返し再現性に優れている
・移動中の振動が微小で高速移動させることができる
・摺動抵抗が極めて小さく、高精度位置決めに有利
・平均化効果により、高い真直度が得られる
・非接触のため、スティックスリップ、かじりが起きない
・非接触で摩擦発熱せず、高速移動が可能
・注油・グリースアップが不要で、クリーン&メンテナンスフリー
🔶放熱構造セラミック基板の特徴
・金属より低熱容量かつ軽量な冷却 · 熱交換用部材を製作でき、高冷却効率 · 省エネルギー化に貢献
・独自の製法により薄肉で複雑形状が可能
・長期的 · 効率的に冷却 · 温調することが可能
・優れた耐薬品性によりメンテナンス軽減
・冷却 · 温調以外にも様々な用途に対応可能
🔶低光反射材 半導通性 黒アルミナの特徴
・SiCよりも黒く、SiC同等の電気特性のアルミナ
・紫外光全反射率9%以下