リックス

ロータリージョイントは、工作機械、半導体、製鉄、食品、フィルム・ゴム業界など様々な業界でご使用いただいている製品です。
半導体業界では、主にウェハーの真空チャック用（吸着）や回転する研磨ヘッド等に使用されております。
ウェハー加圧用のエア供給、回転テーブルの冷却水用、スラリーの供給等、仕様に合わせてオーダーメイドでご対応可能です。

超音速2流体ノズル技術を使用した特許構造で半導体・光学部品（ガラス）などの微細物を洗浄・除去します。
圧縮エアと水のみを使用するため、母材へのダメージ低減・ランニングコストの低減・環境負荷低減が実現可能です。
微細な形状や穴等の洗浄性が向上し、表面を傷つけずに異物除去が可能となります。

CO2ジェットやドライアイスブラストの代替方法です。
CO2を使わず氷粒子を生成するため、環境にやさしい製品でランニングコストを削減できます。(CO2ボンベの費用がかかりません。)

これまで人手による目視検査で行っていたウェハー欠陥検査を、AIシステムにより自動で正確かつ高速に実現します。
ウェハー1枚あたりの検査時間は0.2秒、検出率は98.5%の高精度です。既存装置に組み込み可能で、全数検査を実現します。
ウェハーのスループットやサイクルタイムに影響を与えません。

ダンフォス社製インバータ VLTシリーズは、高IP仕様(IP54/55/66)を標準ラインナップしており、収納盤を設けずにインバータ単独での設置が可能です。
インバータ化における初期費用の低減、設置スペースの削減、劣悪な環境下での長寿命化にお役立ていただけます。
製品ラインナップ：200V級 0.25～150kW、400V級 0.37～560kW

DuPont社のWater Solution部門では、世界中で高まる水とエネルギーの需要に応え、統合された効果的なソリューションを開発しています。
イオン交換樹脂やRO膜(逆浸透膜)・UF膜(限外ろ過膜)・MBR(膜分離活性汚泥法)など、当社の多様なテクノロジーにより幅広い水処理アプリケーションに対応し、水に関する課題を克服して、ご要望に沿った品質と量の工業用水を生産できるよう設計されています。