【デンカTFE】
タングステン単結晶ニードルの表面をジルコニウムと酸素の吸着層で被覆し、タングステンの仕事関数を低下させたショットキーエミッター。単結晶LaB6カソードに比べ100倍以上の輝度を有しエネルギー幅も小さいため、低加速電圧でもプローブ径を絞ることが可能で、半導体材料・デバイスの表面観察用途に最適です。また放射電流が極めて安定で、かつ長寿命のため、半導体検査装置や電子線露光装置をはじめとして、さまざまな電子線応用機器に利用されています。
高度なニードル加工技術により幅広いチップ先端曲率に対応できます。ばらつきが小さく、再現性の良い電子放射特性が得られます。ご指定の電子銃への組み込みに対応できます。また、チップ、サプレッサ、引き出し電極が一体となったモジュール形態での提供も可能です。
【デンカLaB6カソード】
六ほう化ランタン(LaB6)は仕事関数が低く高融点のため、熱電子放射材料として最も適したものの一つです。デンカLaB6カソードは電子顕微鏡や電子線露光装置の電子放射源として高い評価を受けています。
フローティング・ゾーン法で育成した高純度で高品質な単結晶を用いているため、安定な電子放射特性が得られます。高精度な加工技術により、さまざまな円錐角・寸法の単結晶チップ先端形状に対応できます。球状のチップ先端形状を提供できるのは当社だけです。
【デンカエルミオン】
Gaイオン源「デンカエルミオン」は特殊なチップ処理により安定イオン放射を実現します。
タングステンニードルの表面を特殊加工してあるため、液体ガリウムに対する濡れ性に優れ、安定した液体ガリウムの輸送により、安定したイオン放射特性を達成しました。