nexensor社のnXI-5/nXI-2シリーズは、独自の処理アルゴリズムにより1秒以下で測定結果が得られる、高速な3D白色干渉変位計。
様々なモデルやレンズによりサブnm～μmスケールの測定対象物に対応し、最大で数十mmの広い視野の測定も可能で、段差、幅、角度、粗さ、平坦度など様々なデータが精度良く得られる。
センサの制御には、組み込みインライン用に対応するインタフェイスが提供され、オフラインでの三次元計測・解析用には、付属するアプリケーションソフトウェアNX-SCANが提供されている。
ウェハやPCBの凹凸、コーティング厚さなどの測定に有効。