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北川グレステック

千葉市花見川区犢橋町,  千葉県 
Japan
https://www.kitagawagt.co.jp/
  • 小間番号7106


北川グレステックへの訪問ありがとうございます。半導体関連部品の精密研磨・CMP・検査・自動化・プロセス開発を提案します。

精密研磨・CMP加工を研磨材・研磨装置・技術力でトータルサポート北川グレステックでは、これまで培った精密研磨・CMP・HDD研磨の自動化技術を基に、装置や消耗品からプロセス開発を含むお客様のご要望に合わせた研磨に関する「トータルソリューション」を提供致します。

-CMP: CMPプロセスの開発やデモテストから、受託加工、装置の製造販売・消耗品の販売まで幅広く対応いたします。 CMP装置(研磨)、洗浄装置(ポストCMP)、グラインダー(研削)などの装置を卓上型から300mm対応のものまでラインナップし、製造・販売しております。また、お客様のプロセスに応じたカスタマイズ・オーダーメイド装置や、消耗品(スラリーや添加剤)もご提供しております。

-精密研磨: 充実した研磨加工設備・検査設備・ダイヤモンドスラリー(研磨剤)を駆使し、卓越した研磨技術で高精度の鏡面加工を実現します。また、研磨による素材の薄片化や封止されたデバイスの樹脂剥離も可能です。

-自動化: 研削・研磨・洗浄・検査・搬送の技術を連結した「クリーンロボット・クリーン搬送システム」は、HDD研磨製造ラインとして世界シェア85%保有するシステムです。作業者を介することで生じる欠陥原因を排除し、より良い生産環境の構築を実現します。

-検査: 汎用品からオーダーメイド品までレーザー式検査装置の開発・設計・販売を行っております。不透明体や透明体などさまざまな材料の検査媒体において単に欠陥を見つけるだけではなく、欠陥サイズや形状などに応じて集計した結果をフィードバックすることで工程改善にも寄与します。光学系だけでなく搬送系も含めてニーズに沿った最適な検査自動化装置を提供します。


 出展製品

  • 卓上CMP装置「BC-15CN」
    対応ワークサイズ: チップサイズ~φ150mm プラテンサイズ:  φ380mm ドレスサイズ:   φ190mm LD-UnLD:     マニュアル フットプリント:  W850xD600xH800mm 対応アプリケーション: CMP/MEMS/CMP部材評価...

  • 卓上型でコンパクトながら、CMP全般の試験に最適。
    酸性・アルカリ性のあらゆるスラリーに対応可能です。
    また、この装置は、8"や12"用などの標準型をベースにダウンサイジングしてデザインされています。従って、通常の卓上型と違い、機械剛性が高いのが特徴です。卓上型で取得した研磨データを据置型に転用する際のデータ互換性に優れています。
    また空圧による荷重調整が可能ですので、平坦性は通常の錘荷重タイプに比べてより安定します。他にも、錘荷重タイプは研磨終了後のリンス時に、錘を外して低荷重に変更する作業が生じますが、空圧荷重タイプは研磨用荷重からリンス用低荷重への変更が容易である点がメリットです。