潤工社

フッ素ポリマー熱交換器 シェル＆チューブシリーズは、潤工社が開発したシングルパス向流型多管式熱交換器です。
フッ素ポリマーPFAをチューブに成形し、チューブ束端部をハニカム成形したバンドルをステンレス製シェルの中に装着しています。
シェル＆チューブシリーズは、腐食性液体の加熱・冷却、高純度薬品、純水の加熱・冷却および腐食性ガスの冷却などあらゆる薬品に高い信頼性のもとに使用できます。

特長

●フッ素ポリマーPFAを伝熱管に使用、ほとんどの化学薬品や溶剤に耐えられます。
●高温時の環境ストレスクラッキングや耐熱性にすぐれています。またフレキシビリティがあるためガラスやグラファイトのように熱や機械的衝撃で割れることがありません。
●有害な物質の溶出がなく、プロセス液を汚染しません。
丸端面の形状は、独自の融着技術によるハニカム構造となっており、高強度であり、かつ省スペースを実現しています。
●非粘着性でスケールやスラッジが付着しにくく、たとえ付着しても容易に除去できます。
●単位体積あたりの伝熱面積が大きいため、コンパクトな設置が可能です。
●小型で軽く、取り扱いが簡単でメンテナンスも非常に容易です。

さまざまな産業分野において、液体が漏れることによって起こる重大な事故や環境汚染、貴重な燃料資源の損失を最小限にとどめるためには、早期に液漏れを発見することが重要です。潤工社は、耐候性・耐薬品性・耐水性に優れたフッ素ポリマーを、長年培ってきた高度加工技術によってセンサ化した漏液検知システムの製品化を行っています。
　各種油・有機溶剤液漏れ検知システムは、半導体・化学プラントやデータセンター、発電設備など多くの産業分野で採用されています。

特長

●用途に応じた検知器・センサを適用することで極微量の液漏れから、広範囲に渡る液漏れまでを常時監視します。
●液漏れの恐れのある場所を重点的に見張るポイントタイプ液漏れ検知システムと、広い範囲をエリアで見張るラインタイプ液漏れ検知システムがあります。ラインタイプには液漏れが発生した位置を正確に特定する位置検知機能を有したシステムもあります。
●統合監視器を用いる事で最大320ヶ所を集中監視することが可能です。ポイント検知器とライン検知器を自在に組み合わせることが可能で、用途により最適なセンサを使い分けることが出来ます。

コート、現象、レジストプロセスでは精度の向上、歩留まり改善がますます求められています。高純度流体の塗布の際に脱気モジュールによるバブル・溶存ガスの除去が必要となっています。潤工社では高性能でコンパクトな脱気モジュールを開発しています。

特長

●マイクロチューブを高密度かつ精密にハニカム成形することでコンパクトな脱気モジュールを実現。
●配管ラインに組み込みやすいコンパクトなデザインですのでユースポイント付近への設置が可能です。
●耐薬品性に優れています。
●接液部は全て低溶出金属のフッ素ポリマー及びフッ素エラストマーで構成していますので使用液体を汚染しません。
●非多孔質膜ですので、目詰まりをおこしません。

5G、AI、自動運転、クラウドサービス、IoT、EV車、メタバースなどにより半導体の需要は大きく伸びています。同時に、ムーアの法則に基づき、半導体露光では線幅がより細くなる一方でプロセスの精密化が進んでいます。それに伴い、プロセス中のパーティクルやアウトガスの問題が深刻化しており、これに対処するためにはよりクリーンな材料（低パーティクル、低アウトガス）が求められています。それらの材料は、様々な技術分野での進展に対応するために重要です。
これらの要求に応えるため、潤工社は40年以上にわたり、クリーンで高耐久なケーブルを提供しています。これらのケーブルは、従来以上にクリーン性（アウトガスの発生やケーブル摩耗による発塵が少ないこと）と柔軟性に特に重点を置いています。潤工社のラインナップには、常圧から中真空環境まで使用可能なLOタイプと、高真空から超高真空まで使用可能なSLOタイプがあります。

特長

●アウトガス性：他の材料に比較してアウトガスの発生量は極めて微少です。
●柔軟性：フッ素ポリマーの欠点である柔軟性を大幅に改善しています。
●高耐久性：可動部においてお客様の期待する寿命に併せた提案が可能です。
●低摩擦性：他の材料と比較して低摩擦性が飛躍的に向上しています。