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リソテックジャパンは、半導体リソグラフィに関する評価機器やプロセス装置のメーカーです。
半導体リソグラフィ関連の製造装置や評価ツールをご紹介します。
リソテックジャパンでは、一般社団法人ミニマルファブ推進機構に参画し、ミニマル※1の塗布・現像装置の開発を行っています。ミニマルファブは、世界中で使っていただける柔軟な汎用性と超低コスト、高信頼性を併せ持ったイノベーショナルなシステムです。
研究開発、試作、少量多品種生産向けに用途や生産量に合わせた製造設備が構築でき、投資額が必要最小限に抑えられます。このミニマル装置の実機を展示いたします。
◆基板
0.5インチウェーハ
◆基板搬送
ミニマルシャトル＆搬送システム PLAD※2
独自の局所クリーン化技術によりクリーンルームが不要
◆装置サイズ
300mm(W) × 450mm(D) × 1,400mm(H)
◆搭載ユニット
スピン塗布ユニット、スピン現像ユニット、ベークユニット
HMDSユニット、超小型搬送ロボット、センタリングガイド