Linde AMT Japan

さいたま市, 埼玉県
Japan
https://www.linde-amt.com/en

50年以上の間、溶射技術を用いて摩耗、酸化、腐食および高温による課題をクリアしてきました。弊社の溶射技術にご期待下さい。

半導体・FPD製造装置に有用な高耐食セラミックコ－ティングをご提案致します。

Linde AMTプラズマ溶射法による緻密で高接着力のコ－ティングは、一般的には溶射が困難とされる

イットリア、アルミナ、窒化アルミ他で多くの加工実績があります。

溶射材料：Y2O3、Al2O3, Al2O3-TiO2、その他

基材材質：アルミ、アルミナセラミックス、窒化アルミ、石英、その他

溶射皮膜の特長

•緻密で高密着のコ－ティングにより、セラミックス基材にも適用可能

•高純度コ－ティング(純度99.9%以上)

•再現性に優れる（航空機部品と同様のプロセス管理、品質管理）

効果

・チャンバ－部品の寿命を大幅に伸ばすことが可能 → 設備稼働率の向上

・パ－ティクル減／生産歩留まり改善 → 生産コスト低減の可能性をご提案

Ceramic coatings

We offer highly corrosion-resistant ceramic coatings useful for semiconductor and FPD manufacturing equipment.... More Info Less Info

We offer highly corrosion-resistant ceramic coatings useful for semiconductor and FPD manufacturing equipment.

Samples of thermal spraying on wafers will be exhibited.

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ウエハーにセラミック溶射をしたサンプルを展示します。... More Info Less Info

半導体・FPD製造装置に有用な高耐食セラミックコ－ティングをご提案致します。

Linde AMTプラズマ溶射法による緻密で高接着力のコ－ティングは、一般的には溶射が困難とされるイットリア、アルミナ、窒化アルミ他で多くの加工実績があります。

溶射材料：Y₂O₃、Al₂O₃, Al₂O₃-TiO₂、その他

基材材質：アルミ、アルミナセラミックス、窒化アルミ、石英、その他

溶射皮膜の特長

効果

SEMI Japan Customer Service