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アンビエントエレクトロニクス・システムオンガラス・パッケージングにおけるガラスコア・光電融合などは、ガラス基板をキーワードにした半導体技術である。近い将来、システムの多様化・多機能化・高集積化とともに、ガラス基板上に高性能・高機能な薄膜トランジスタ（TFT）を形成し、高性能なディジタル回路・アナログ回路・センサ回路を実装することが必要になる。この技術は次世代半導体のゲームチェンジに繋がる革新的要素技術になりうる。更に、変形可能なプラスチック基板上に、同一半導体材料でCMOS回路を形成できれば、IoTやフレキシブルエレクトロニクスへの応用範囲が劇的に広がる。我々は、このような新しいステージの半導体デバイスを実現することを目標に、Ⅳ族系半導体を中心にTFTの研究を進めている。
ブースでは、
・４端子縦型TFT
・Ⅳ族フレキシブルTFT
・CTFT
についてパネル展示・開発したTFTを展示する。
ガラス基板上に形成された縦型チャネルを有する4端子TFT
Japanese Journal of Applied Physics 63, 041002 (2024）
プラスチック上に形成されたpoly-Ge TFT
https://doi.org/10.1002/sdtp.17832
プラスチックは東洋紡（株）XENOMAX®
ガラス基板上に形成されたpoly-Siとpoly-GeからなるCTFT
2024 SSDM [K-7-04 (Late News)]