薬液供給装置(デュアルタンク)
製品名:CHEMGUARD Models 100-500
・生産装置にケミカルの連続供給が可能であり、また、
容器を上下2段に設置することで省スペース化を実現
サイズ : W457×D533×H2210(㎜)
筐体内体積:約0.54m3
実 績 :北米・アジアを中心にワールドワイドで
10,000台以上の実績あり
ChemGuard対応ケミカル例
型式 : ケミカル
CG100 : TEOS、TEB、TEPO、OMCTS、etc
CG200 : 2NTe、etc
CG300 : LTO520、TiCL4、etc
CG325 : 4MS
CG350 : TiCL4、etc
CG400 : TMA、第3類ケミカルetc
CG500 : ZyALD、TEMAH、etc
CG2000 : Trans-LC(DCE)
※豊富なケミカル知識により薬液に最適で型式をご提案します。
薬液供給システム(シングルタンク)
製品名:CHEMGUARD Models 1000-2000
・シングルタンクの薬液供給装置から
温度制御システムにケミカルを安全に
充填します
・対象ケミカル
・POCL3
・Trans-LC(DCE)
温度制御システム
製品名:VAPORGUARD
・ケミカルの入った容器を任意の温度
(10~115℃)に制御します
・拡散炉などの装置に安全にバブリング
することでケミカルを供給します
・特殊材料用SUS容器も提案可能
・対象ケミカル
・POCL3
・Trans-LC(DCE)
・その他特殊材料