Loading...

エア・ウォーター・メカトロニクス

平塚市,  神奈川県 
Japan
https://www.awmx.co.jp/
  • 小間番号4137

エア・ウォーター・メカトロニクスは、社会のデジタル化に伴って拡大を続ける半導体市場に向け、グループが保有する事業と技術を結集しエレクトロニクス事業のさらなる拡大を図るため、2023年1月に誕生しました。

弊社事業は、特殊ケミカル材料やガスの供給機器、ガス精製装置、排ガス除害装置、スラリー供給装置ほか、ドライアイス精密洗浄システムなどのガスアプリケーション機器、半導体装置向けの計測器も含めて、半導体デバイスの製造に関わる多様な周辺事業から構成されています。

私たちのブースでは、顧客との長期継続的な取引実績、信頼関係に裏付けられた良質なソリューションとその技術をご紹介しております。どうぞごゆっくりご覧ください。

パイオニクス事業部

各種ガス超高純度精製装置や排ガス処理装置等の開発、製造、販売を行っております。 半導体製造に欠くことの出来ないガス精製技術および排ガス処理技術分野での数多くの実績を有し、更に多様化するニーズに多彩な技術と最新鋭設備でお応えします。

特殊機器事業部

特殊ケミカル供給装置の開発、製造及び販売をしております。 グローバルで標準的に採用されているMerck社(Versum社)製の特殊ケミカルの供給装置の輸入販売の他に、エレクトロニクス分野で使用され、複雑・多様化する各種特殊材料をプロセス装置へ安全かつ安定的に供給する最適なシステムのご提案が可能です。

PSA事業部

窒素ガス発生装置(PSA)の開発から製造、販売、保守まで一貫して対応しております。 PSA装置の心臓部にあたる吸着材(CMS)においても独自の合成高分子材料ベルパール他を原料として採用し高収率かつ省スペースの装置を得意としております。

エンジニアリング事業部

半導体製造プロセスに欠かせないスラリー供給装置や、シリンダーキャビネット、VMB等の半導体関連ガス材料供給装置、また、Siウエハや電子回路基板などに最適なドライアイススノー洗浄装置など、半導体分野に携わる装置技術の提案、製造販売を行なっています。ご要望に合わせてカスタマイズも行っております。 ST事業部 工業計測機器の輸入、販売を行っております。 計測における最も重要なテーマの1つが圧力・流量計測です。唯一無二の製品から汎用品まで幅広いラインナップでソリューションのご提案をしてまいります。厳密に空調された校正検査室に産業技術綜合研究所国家標準器にトレーサビリティーを持つ各種圧力基準器を保有しており、高精度検査を社内で実施しております。


 プレスリリース

  • エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社は、エア・ウォーター株式会社、エア・ウォーター・マテリアル株式会社、エア・ウォーター・エレクトロニクス株式会社エア・ウォーター・マッハ株式会社の共同にて、2024年 12月11日 (水) - 15日 (金) 10:00-17:00 東京ビッグサイトで3日間開催される「SEMICON JAPAN2024」に出展いたします。

    ご興味のある方は、会期中に当社の展示ブースにお立ち寄り頂き、主要製品とその技術についてご覧になって頂けますと幸いです(当社グループ展示ブース:東ホール NO.4137)

    出展展示会 URL: https://www.semiconjapan.org/jp


 出展製品

  • ガス精製装置/排ガス処理装置
    ●ガス精製装置 半導体の製造工程においては多様な材料ガス・キャリアガスが使用されます。 良質な半導体を形成するために、ご使用になるガスの種類に応じた、最適な精製装置をご提案します。 ●排ガス処理装置 半導体製造に欠くことの出来ない排ガス処理技術分野での数多くの実績を有しております。 更に多様化するニーズに多彩な技術と最新鋭設備でお応えします。 ...

  • ●ガス精製装置

    半導体の製造工程において、様々なガスが使用されています。その過程で高い純度が求められるため、影響を及ぼす不純物成分を除去する精製装置を用いて、高性能で良質な半導体を製造します。

    長年培ってきた精製技術を基に各種精製方式(常温吸着式、ゲッター式、パラジウム合金膜式、深冷吸着式)に対応する精製装置をご用意し、お客様の多彩なニーズにお応えしています。

    ●排ガス処理装置

    半導体製造プロセスで使用される特殊材料ガスは半導体の高度化に伴い、益々多種多様になっています。その中には人体や環境にとって有害な物質が多く、工場外へ排出するに先立って除害することは必需となっております。

    当社が独自に開発したパイオクリン®除害剤は、有害成分を化学的に吸着させ、排ガスから有害物質を安全に取り除きます。パイオクリン®除害剤は取扱いが極めて簡単に行えるなど、数々の優れた特徴とメリットを備えています。

  • CMPスラリー供給装置
    半導体生産のCMP設備及びガラス、シリコンなどの基板生産の研磨設備向けにスラリー薬液を調合して供給する設備です。...

  • Mega fluid System社の基本技術を基に、開発・設計・製造を当社で行い、お客様のニーズに最適なシステムを提供します。高いスラリー調合精度とスラリー性状(濃度、粒子サイズ)の安定維持供給を実現します。集中供給システムは、365日24時間の安定供給を実現したシステムです。

    ※特徴
    ①スラリー均質・安定取扱技術
     ・スラリーに応じた原液攪拌技術(セリア、アルミナ)
     ・スラリー調合攪拌の最適化
     ・調合タンク・原液ドラムの乾燥・固化防止技術
     ・凝集を発生させない調合・送液システム
     ・高精度・高速調合技術

    ②メンテナンスコストの削減
     ・メンテナンス・頻度工数の削減
     ・ローカル供給方式に較べ最大70%削減可能
     ・消耗分品の長寿命化
     ・調合バッチごとのDIW洗浄の自動化
     ・定期的な薬液洗浄の自動化も実現(オプション)

  • シリンダーキャビネット
    当社ガス供給システムは、ガスボンベを収納・保管し、特殊ガス、高圧ガスなどを安全・安定に供給する装置・設備です。半導体・液晶・太陽発電池の生産設備などで利用いただいております。...

  • 1.シリンダーキャビネット

    特殊ガス供給とコンパクト設計を目的に開発。容器弁の開閉状態も自動確認方式を採用し、安全に安定供給するためのシステムは全自動化され、配管内体積を最小にすることで継手数削減や、バキュームジェネレーターによるパージアシストで高純度化を実現しています。

    ※特徴
    ①シリンダー収納部体積の縮小
     ・筐体サイズの見直しにより体積の縮小を実現
     ・従来より11%局所排気風量を低減
    ②高拡張性
     ・シリンダーキャビネット、ガス検知器、除害装置、生産装置、その他装置の状態を一括にて監視可能
    ③ディープパージ方式の採用
     ・パージ効率の向上
     ・パージ時間の短縮
    ④新型タッチパネルの採用
     ・10.4インチ液晶タッチパネルにより操作性の向上
     ・アラーム等も瞬時に表示
     ・対話方式の操作によりマニュアルレス化
    ⑤低コスト、納期短縮
     ・使用部材の見直しにより、低コスト、納期短縮を実現
     ・従来より15%のコストダウンに成功
    ⑥大量供給設備にも対応
     ・カードル、ISOモジュール等の大型容器にも対応可能

    2.GasStar

    半導体材料用特殊ガス供給装置
    半導体・液晶・太陽電池生産設備向け
    特殊ガス供給設備

    北米・アジアを中心に多数の導入実績あり

    対象特殊ガス
    ・SiH4
    ・NF3
    ・その他特殊材料

  • ChemGuard
    半導体向け特殊材料供給装置のパイオニアとして、ワールドワイドに多数の納入実績がございます。 特殊ケミカル供給装置の開発、製造及び販売をしております。 グローバルで標準的に採用されているMerck社(Versum社)製の特殊ケミカルの供給装置の輸入販売の他に、エレクトロニクス分野で使用され、複雑・多様化する各種特殊材料をプロセス装置へ安全かつ安定的に供給する最適なシステムのご提案が可能です。 ...

  • 薬液供給装置(デュアルタンク)
    製品名:CHEMGUARD Models 100-500
    ・生産装置にケミカルの連続供給が可能であり、また、
     容器を上下2段に設置することで省スペース化を実現
     サイズ : W457×D533×H2210(㎜)
           筐体内体積:約0.54m3
     実 績 :北米・アジアを中心にワールドワイドで
          10,000台以上の実績あり
    ChemGuard対応ケミカル例
     型式 : ケミカル
     CG100 : TEOS、TEB、TEPO、OMCTS、etc
     CG200 : 2NTe、etc
     CG300 : LTO520、TiCL4、etc
     CG325 : 4MS
     CG350 : TiCL4、etc
     CG400 : TMA、第3類ケミカルetc
     CG500 : ZyALD、TEMAH、etc
     CG2000 : Trans-LC(DCE)
      ※豊富なケミカル知識により薬液に最適で型式をご提案します。

    薬液供給システム(シングルタンク)
    製品名:CHEMGUARD Models 1000-2000
    ・シングルタンクの薬液供給装置から
    温度制御システムにケミカルを安全に
    充填します
    ・対象ケミカル
    ・POCL3
    ・Trans-LC(DCE)

    温度制御システム
    製品名:VAPORGUARD
    ・ケミカルの入った容器を任意の温度
    (10~115℃)に制御します
    ・拡散炉などの装置に安全にバブリング
    することでケミカルを供給します
    ・特殊材料用SUS容器も提案可能
    ・対象ケミカル
    ・POCL3
    ・Trans-LC(DCE)
    ・その他特殊材料
  • 圧力センサ/計測機器
    半導体製造装置には多数の圧力センサが使用されます。弊社が取り扱うセトラシステムズ社の各種半導体装置向け圧力センサ、真空センサは、この分野で豊富な使用実績があり、半導体産業の発展に貢献してきました。...

  • 1967年アメリカで創業したセトラシステムズ社の静電容量方式圧力センサは微差圧、気圧、真空の測定に強みを持ち、半導体産業を中心に国内顧客へ豊富な納入実績があります。