【エネルギー効率を最優先】して開発・製造された弊社のヒータ式装置は、独自開発である加湿Ｓｙｓｔｅｍ、内部構造、筐体設計を行う事により、競合他社の同等性能機種と比較して安全・省スペース・優れたメンテナンス性という利点を得ることをコンセプトとしています。

より大風量のガスを処理できるように開発を行い、最大処理流量の大幅アップとエネルギー効率のアップにより省電力を実現した新装置・凮電が完成いたしました。

実機展示も行いますので、会場にてサイズ感など、ぜひご確認ください！

◆特徴◆

・マルチチャンバ―機構により、混触ガスにも対応可能。

・ユニットごとの交換でメンテ性に優れる。

・水スクラバは従来のタイプから進化し、

　わずか0.3μほどの細かい粉体・粒子を捕集可能。

【エネルギー効率を最優先】して開発・製造された弊社のプラズマ式装置はCT独自技術であるロングアークプラズマの瞬間的な着火により待機時間“ゼロ”。更に添加ガス等も必要としない条件下で、既存の除害装置では処理が困難であったCF4、SF6等のPFCガスも問題なく処理できる高い除害性能を持っています。より大風量のガスを処理できるように開発を行い、最大処理流量の大幅アップとエネルギー効率のアップにより省電力を実現した新装置・雷電が完成いたしました。

実機展示も行いますので、会場にてサイズ感など、ぜひご確認ください！

◆特徴◆

・ロングアークプラズマ方式：流入したガス自体を直接プラズマ化。

　(他社はトーチ式の間接的プラズマでの処理。)

・平均温度は7000℃以上、MAX温度はなんと20000℃

　(他社はMAXで～1200℃程度)

【エネルギー効率を最優先】して開発・製造された弊社の水中掃除機ユニット-ミコトルは半導体やLCD工場内の除害装置のスクラバ、さらには各工場にある集中スクラバなどの貯水槽内に溜まった固形物・汚泥を、還流システムにより清掃ターゲットの水量は変化させず回収する世界初のスクラバ専用水中掃除機です。

今まで煩わしかった貯水槽内の清掃もこのミコトルさえあれば、簡単かつ安全に清掃が可能です。水中の固形物・汚泥だけを回収する還流システム搭載の水中掃除機ユニットをぜひ一度、会場でお試ししてみませんか？

◆特徴◆

水量を変化させず 汚泥のみ除去

・吸排水を同時に行いながら水中の固形物・汚泥だけを

　還流システムにより短時間で除去可能。

簡易かつ安全に運転

・自己判断機能付きでボタン一つで運転スタート。

　吸込口、排出口を清掃対象口にセットするだけで清掃、

　人体に水溶液が触れることなく安全。

【エネルギー効率を最優先】して開発・製造された弊社の自動配管清掃ユニット-ダクトロンは半導体製造装置より排出された粉体（ＳｉＯ２等）が、配管に堆積することを予防することを目的とした自動配管クリーニングシステムです。

曲がりがある配管の清掃もダクトロンにお任せください！また、配管を取り外す必要も清掃時のダウンタイムも一切必要なし！自動で動くブラシのスムーズな動きをぜひ一度、会場にてお試ししてみませんか？

◆特徴◆

世界初の自動配管クリーニング

・生成物が詰まりやすいような曲がり配管を定期的かつ自動的に清掃。

　高所、重量物、気密性を考慮する配管清掃を安全、

　安定にメンテナンスを実施。

取り外しの必要なし

・機器を取り付けた後は清掃のたびに配管を取り外す必要はなし。

　生産の合間のわずかな時間（5分程度）でも清掃が可能。

（配管清掃時のダウンタイムや予備の配管コストは必要なし。）

【エネルギー効率を最優先】して開発・製造された弊社の粉体バキュームユニット-セルペンスは半導体製造装置より排出される粉体の集塵とガス除害を目的とする薬剤付き粉体掃除機ユニットです。

今までと全く違う厚みを持ったフィルタで、粉体を段階的・立体的に捕集します。それにより長期間目詰まりを起こさず、強力な吸引力は可変のまま安全に作業が可能です。

強力な吸引力をぜひ一度、会場にてお試ししませんか？

◆特徴◆

吸引力可変の強力掃除機

・製造装置や排気ライン(配管)の清掃として、多量の粉体を吸引。

　長期間にわたって目詰まりを起こさず、作業を安全かつ容易。

用途に合わせて対応可能

・各種製造装置・排気ライン（配管）・局所排気等、

　様々な用途に対応可能。

-『SP020-1』処理風量可変機能でお好みの風量に調節可能。

-『SPD020-1』弊社開発薬剤を用いる事でガス成分を粉体からの

　ガス拡散させる事なく処理可能。