トライオテック

長岡市,  新潟県 
Japan

• 小間番号3722

トライオテック株式会社は、国産の半導体製造装置を提供し、皆様の生産性向上に寄与いたします。

今回初出展で40～28㎚対応の国産PE-CVD装置『TF-300T』実機の約1/8スケール模型を展示致します。優れたコストパフォーマンスと性能で、14～5㎚テクノロジーへの拡張も可能です。次世代集積回路の製造に革新をもたらす、未来志向の装置です。

 プレスリリース

• 新潟発！国産半導体製造装置メーカー初出展！ (20241029)

  今回初出展のトライオテックは、2種類のPE-CVD装置をラインナップしています。
  300mm装置「TF-300T」の約1/8スケールの模型を展示しています。

   

  ■TF-150T　-仕様説明-
  ・自社開発による先進的な制御プログラム
  ・独自のプラットフォームにより世界トップクラスの生産性を実現
  ・1億5千万回の搬送実績のある高い安定性
  ・Device-netによる優れた通信機能
  ・6” and 8” コンパチブル
  ・Si wafer and SiC wafer コンパチブル
  ・High-quality SiO, SiN, TEOS and BPTEOS films
  ・SEMI S2 F47 認証

  ■TF-300T　-仕様説明-
  優れた薄膜均一性と低欠陥
  ・ESCオプション付きセラミックヒーター
  ・新型ガスラインヒーター
  ・ミニマム コンタクトウェハ搬送ロボット
  ・0.026umパーティクルコントロール
  優れたプロセス制御能力と再現性
  ・RF電源とマッチングの高速化
  ・独立したガス絶縁設計
  ・フレキシブルな共通ガスボックス
  高温プロセス能力（最大650℃まで）
  先進膜用プロセスキット
  （a-Si、ACHMカーボン、HTN、Low-k、ADC）
  SEMI S2 F47 認証

  ■安心の日本国内生産

 出展製品