触覚センサ・デバイス，誘電・導電性の複合的変化を有するプロセスの予知制御，隔離空間内の腐食反応などを無配線センシング技術
本研究室では，産業用途のセンサ・デバイスや生産技術の研究開発を実施しております．各部署でお抱えの課題の解決についてNDAを結び調査研究もいたしますのでお気軽にご相談ください．
１：人の感性を数値化する半導体MEMS触覚・光・温冷覚コンボセンサおよび摩擦・振動複合触覚呈示デバイス
特徴：接触荷重ベクトル、光反射による近接・色、伝熱による温冷差を一つの小型デバイスで計測可能
想定される応用例：産業用・協働ロボット，製品触感や手技の数値化・呈示など
２：非接触/非破壊型複素容量センサおよびイメージング技術
特徴：誘電率，導電率の複合評価と予測・制御，スポットでの検出とイメージング
想定される応用例 各種プロセスの終点の予測・制御に関わるセンシング技術：例えば，エマルジョン・コロイド粒子などの分散系の安定性予測，セメントの硬化，品質，劣化の数値化と予測，土壌の含水性・多孔質度の評価，食品鮮度や品質，木材，塗料・接着剤，皮膚などの乾燥状態評価など
３：特殊金属，難加工材料の3D-MEMS加工技術（Ti合金，Ta，Nb,Moなどの特殊金属, ガラス，水晶など）
想定される応用例 機械的・化学的耐久性が要求される用途のマイクロロボティクスなどのセンサ，アクチュエータ、電気化学デバイスおよび微小機械部品の試作
4：温度特性が格段に優れたBAWデバイス，センサ
従来の1/4以下の数十ppb/℃レベルのTCFを有するTSM振動子，高周波化対応，質量検出にも使用可能