English - 英語
最先端かつオンリーワンテクノロジーの製品をお客様へご満足頂けるよう、最適なご提案をお約束致します。
本展示会では、SmarAct社製品を出展致します。
SmarAct社では、小型ながら長ストローク移動可能なピエゾステージ、長時間可動可能で高速度、高性能なリニアモーターステージ、小型な光学式エンコーダーを製造しております。
また、これらのステージを組み合わせた、光集積回路のファイバーアライメントユニット及びマニピュレータを搭載したナノプロービングユニットも実機展示します。
SmarAct社ではステージ単体はもちろん、各ステージを組み合わせたユニットでのご提供も承っております。
是非、弊社ブースにてアプリケーションでのご相談お待ちしております。
・超小型な読取ヘッドで高分解能、高速性能を実現
・小型かつアライメントが容易なので装置への組込みも容易
・低消費電力で温度特性にも優れているため超高真空にも対応
・20µmピッチの多種多様なスケールに対応
・オプションとしてパラメータ設定が可能なソフトウエアも用意
・METIRIOチップパッケージは、OEM製品として供給することや、カスタマイズされたハウジングに組み込んでのご提供も可能
・再現性±2.5nmを実現
・分解能1nmでのクローズドループ制御
・アクティブな位置ホールド
・広い移動範囲と低い熱ドリフト
・30×30mm全域でのプロービング
・ 高速EBAC/EBICイメージング
・オールインワンのユーザーインターフェース
・全てのプローブの自動アプローチとアライメント
・ SEM像でのポイント＆クリックナビゲーション
・電磁ドライブによる最大1m/sの高速かつ長距離移動
・ナノメートルレベルの高精度・長ストローク
・コンパクト設計でありながら高耐荷重
・高デューティサイクル、長寿命で実質的にメンテナンスフリー
光学プローブ用途向け
SmarAct Motion テクノロジーのコンビネーション
●SMARSHIFT ® 電磁ダイレクトドライブ： 高速かつnmレベル位置決めのウェハステージ
●SMARBOTIC ® SmarPod：
ファイバアライメント用6軸-キネマチックステージ
●SMARSLIDE ® stages：
ベースとなるXY-2軸ステージ
●SMARFLEX ® XYZ-3軸ピエゾスキャナーシステム： 高速ファイバアライメント
描画分解能:1.5um 最小加工サイズ:1.5um 位置決め精度`1cm2プリント面積:1um 最大露光面積:110x110mm サブストレートサイズ:<5"x5" 描画スピード:220mm2/分 装置寸法:52x52x69cm2(WxDxH)