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ナガセテクノエンジニアリング ウエハハンドリング Lab 高性能な機器で信頼性と精度に優れたソリューションを提供します
ナガセテクノエンジニアリングは最先端の技術を活かしお客様の様々なニーズにお応えします。
半導体／MEMS／LED／フラットパネル／ディスク／バイオ／フォトリソグラフィー／太陽電池など、各業界向に、ご用途とプロセスに合う基板搬送用ハンドリングツール・装置及び各種カセットを出展いたします。薄ウエハにも対応可能な卓上型のウエハ一括移載装置や非接触型搬送ツールのデモンストレーションも行います。
接着材なしで、あらゆる基盤を瞬時に接着・剥離するモバイル静電キャリアを展示デモいたします。
オープンクリーンシステムKOACH：オープンな環境でISOクラス1の清浄空間を実現します。卓上タイプを展示デモいたします。清浄度をご体感下さい。
H-Square社製の各種装置を展示デモいたします。
・ウエハ移載装置 ・ウエハアライナー ・ポータブル真空ピンセット ・非接触ハンドリングツール ・ウエハ外縁ピック ・フォトマスク搬送ピック ・各種プロセス用／搬送用カセット
様々なご要望にお応えいたします。
＜用途＞
・薄ウエハのハンドリング ・ウエハ薄化 ・Fab改造なく既存装置の活用
＜導入メリット＞
・瞬時の接着・剥離による高いスループット ・基盤への損傷を防ぎ、歩留まりを向上 ・あらゆる形状、複数サイズに対応 ・接着剤不使用で追加のクリーンステップ不要
＜特長＞
・稼動後、短時間で清浄空間を実現します。 ・作業空間が囲われていないオープン構造で作業がしやすい。 ・作業空間のコンタミを素早く排出し空間内の清浄度を維持します。 ・コンパクトで設置場所を選びません。 ・研究室でも生産現場でも使いたい場所に設置が可能。
用途
製品仕様
オプション：ID読取り用のカメラ
特長