”はかる”技術で未来を創る、技術革新を支える最先端計測ソリューションプロバイダーのブースへようこそ。
東陽テクニカは、“はかる”技術のリーディングカンパニーとして、最先端の計測ソリューションを国内外の産業界に提供しています。
本展では、「振動/変位計測」、「設備状態監視」の2つの分野で、半導体の安定供給を実現するための施策の一つである「歩留まりの改善」に貢献する最先端技術をご紹介いたします。
1.高感度ひずみ/振動計測
半導体製造の各工程において、装置の挙動を把握することが求められています。また、微細化が進む中、装置またはウェーハでの変位や振動を計測する必要性は増しています。そのような要求に応えるため、当社が提供する動ひずみセンサ/加速度センサは、高精度かつ高分解能での検出が可能で、多くの半導体製造装置で活用されています。センシングだけでなく、その計測および解析・モニタリングにも力を入れており、これらの機器を展示しています。
2.設備状態監視
製造ラインが想定通りに稼働しているかを振動の物理量で管理する振動センサを展示します。設備の状態の変化をいち早く見つけることができ、製造ラインの急な停止や加工状態の変化を最小限に抑えるのに役立ちます。有線式とワイヤレス式があり、有線式振動センサは、米国PCB Piezotronics社製(以下、PCB社)の圧電型加速度センサをご紹介します。その他、USB型モバイルデータロガー、状態監視・解析ソフトなども取り扱っており、デモをご覧いただくこともできます。PCB社のセンサは高精度かつ、堅牢で、ラインアップが豊富という特長があり、高温下や極低温下、防爆エリアといった特殊な環境でも、安心して振動計測を行うことが可能です。また、ワイヤレス式振動センサは、米国Broadsens社製のセンサをご紹介します。ワイヤレスでありながら、25.6kHzという高サンプリング周波数でデータ計測ができ、それをワイヤレスでゲートウェイに送信できるという画期的な製品です。サイズも小さく、重量も50g程度と軽量です。ケーブルの敷設が不要なため、低コストで簡便に振動計測を行うことができます。
出展製品