ようこそリアルタイムモニタリングの世界へ
TOFWERKは半導体プロセス・化学汚染物質の可視化を実現します
TOFWERKはスイスに開発・製造拠点を置くTOFMS（飛行時間型質量分析計）の専門メーカーです。
EI-TOFMSを用いた半導体プロセスガスのリアルタイムモニタリングによりプロセスの可視化を実現、さらには独自技術により超高感度・長期安定測定を可能としています。
可視化による洗浄工程の時間短縮、不良因子の早期発見、前駆体・副生成物・微量種の検出、レシピの最適化など半導体製造工程に革新をもたらします。
CI-TOFMSを用いたクリーンルームやFOUP内化学汚染物質の検出・ウェハのアウトガスのリアルタイムモニタリング、しかも１つの検出器で異なる化合物クラス（VOC/VIC/etc.) を ppt レベルの高感度で同時測定を実現しています。
既存の検出技術・検査方法の常識を覆す圧倒的なパフォーマンスにより開発・製造現場の生産性を飛躍的に向上することができます。
弊社ブースへお越し頂けることを心よりお待ちしております。