ロッドやチューブ、形状部品といった基板や板材以外の複雑形状部品を単結晶サファイアで製造する場合には、円柱状の単結晶インゴットから、非常に硬い材料を削り出さなければいけない為、加工コストが非常に高くなる傾向があります。
より安価な単結晶サファイアの代替え部材として、N-9000NS高強度透光性セラミックスを提案します。
単結晶サファイアと同等以上の強度を持ち、粉末から様々な成型方法で製造可能なN-9000NS高強度透光性アルミナセラミックスを代用品として使用することで、大幅なコストカットを実現可能です。
用途
- 半導体製造装置用部品として リング、プレート、ロッド、チューブ
- 医療製造装置用部品として
- 耐薬品サファイア部品の代替として
- 石英部品の代替として
- サファイアボールの代替