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量産実績No.1！SiC向け高温中電流イオン注入装置 高精細FPD製造用イオン注入装置はW/WでシェアNo.1
日新イオン機器の中電流イオン注入装置は、その信頼性と安定性でお客様から広くご支持を頂いている
EXCEEDシリーズをベースにパワーデバイス向け装置をご提供させて頂いています。
◇SiC量産用高温イオン注入装置”IMPHEAT-II”
◇レーザー、パワーデバイス向け水素注入装置”EXCEED400HY"
また、フラットパネルディスプレイ向け装置のシートビーム技術を応用し、
300㎜ウェハ向けに従来用途と異なる材料改質向けに
低エネルギー超高ドーズ用途の半導体材料改質装置"KYOKA"を開発いたしました。
充分なフィールド経験を元に、お客様のニーズに合わせ最適なご提案をさせていただきます。
また弊社では注入サービスも提供しておりますので、ぜひブースへお立ち寄りいただき
皆様のご要望をお聞かせください。
世界中の生産現場で認められたEXCEEDシリーズを プラットフォームに使用し、様々なアプリケーションに対応した温度均一に優れた 高温搬送システムで高い信頼性を誇ります。業界を牽引する安定したアルミニウムビームによる高生産性を実現しました。
高スループットの材料改質を実現し、IkeV未満の低エネルギー領域であっても超大電流イオンでの処理が可能。フラットパネルディスプレイ業界で圧倒的地位を築いている弊社装置の技術を基に開発され、さまざまなイオン種が利用可能です。