次世代半導体製造装置に求められる超高真空、低パーティクルに対応するシール製品、潤滑剤をご紹介致します。
様々なプロセスに対し最適なシール方法、潤滑剤をご提案
半導体製造工程における、様々な製造プロセス装置に対し、お客様の要求に合わせて、シールメーカーのイーグル工業が最適なシール方法、特殊潤滑剤メーカーのNOKクリューバーが潤滑剤をご提案致します。
『磁性流体シール』『溶接ベローズ』『ロータリージョイント』を設計・製造している世界で唯一のメーカーであるイーグル工業が一体化したコンパクトで取扱い性に優れた『ハイブリッドシール』をご提案致します。ゴムシールはグローバルで今、最も求められている『ノンフィラー』材であるクリアカルレッツとスペリアF2815をご提案致します。
特殊潤滑剤メーカーであるNOKクリューバーは、半導体産業をはじめとして、自動車産業、再生エネルギー産業、食品産業など様々な業界の中で、汎用の潤滑剤では、カバーできない特殊な環境で使用される潤滑剤を提供しています。近年、半導体の微細化により要求が高まっている『低アウトガス』『低発塵』『メタルコンタミフリー』をコンセプトに開発した『極低アウトガスグリースBARRIERTA BFV 402／BARRIERTA KFV202』を展示します。
高真空環境下で使用可能なフッ素グリース／オイルをはじめ、各半導体製造装置の軸受、直動、シール部品に最適な潤滑剤をご提案致します。
是非、ブースにお立ち寄りください。新たな発見があるかもしれません。