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マーポス

大田区,  東京都 
Japan
https://www.marposs.com/
  • 小間番号2705


非接触式厚さ測定ゲージ、クロマティック共焦点および干渉法技術に基づくソリューションを中心にご提案いたします。

マーポス株式会社は、世界のものづくりのパートナーを目指すイタリアのマーポスグループの日本法人として1970年に設立されました。
製造工程における機械加工中、加工後に使用する精密測定、検査及びプロセス管理システムを自動車・半導体・バイオメディカルなどさまざまな産業界へ提供しています。

展示品
・非接触式厚さ測定ゲージ(インターフェロメトリ技術)
・接触式/非接触式(コンフォーカル技術)ハイブリッドアプリケーション
・光学式3D表面粗さ/形状測定機
・プローブカード検査向けハイエンド3D表面計測システム
・ダイシング工程向けビジュアルブレード検査システム 他

エンジニアが技術的なご相談やテストのご要望を承ります。ブースへのご訪問お待ち申し上げております。


 出展製品

  • NCG
    干渉テクノロジーを利用した非接触厚さ測定ゲージです。光波が測定対象ワークの異なる表面の接合面で反射し、戻された干渉によって層の厚さを計算します。...

  • さまざまなタイプのワーク、ガラス、プラスチック、シリコンウェハーの厚さを加工中に制御することを目的とした製品です。赤外線光源により、不透明な物質でも測定できます。

    NCGは高速処理ゲージでいかなるマシンにも接続でき、ワークの厚さを正確かつ迅速に制御できます。技術データの指定限度内であれば、ドライ環境やウェット環境でもフィクスチャーまたはマシン内で使用可能です。
  • P3CF
    共焦点技術を採用したP3CFは、基準面からワークの表面までを、距離として厚さを非接触測定します。接触式プローブと光学式プローブを組み合わせたハイブリッド測定として構成することも可能です。...

  • 接触式ゲージと非接触式ゲージを1つのアンプに接続して使用することが可能です。(それぞれ最大2つ接続可能)

    接触式ゲージを基準面、非接触式ゲージをワーク面にすることで、ワークを傷つけることなく段差測定が可能です。

    フットプリントとコストを削減することが可能となり、ゲージの組み合わせにより様々なアプリケーションに適用できます。
  • VBI
    ビジュアルブレード検査システム...

  • VBI (Visual Blade Inspector) は、ウェーハ切断中にブレードを監視し、スクラップを削減しながら優れた信頼性の高い結果を保証します。VBIは、超高周波を使用したデジタル化されたシステムです。
  • SOLARIUS VIKING
    光学式三次元表面粗さ・形状測定機...

  • SOLARIUS VIKING(ソラリウス・ヴァイキング)ほぼすべての素材で非接触三次元測定が可能です。コンパクト、高速、ナノメートルの精度を誇るVIKINGは、150 mm x 150 mmのテーブルサイズで測定でき、アプリケーションに応じて、共焦点ポイントセンサーまたは三角測量ラインセンサーを装着できます。個々の構成に基づいて、10ナノメートル未満の高さ方向の解像度で処理します。さらに、繰り返し測定用の操作が簡単なレシピジェネレーターなど、データの取得と処理のためのさまざまなオプションをご用意しています。
  • SOLARIUS AOP-PCI
    プローブカード検査用高精度3D表面計測システム...

  • AOP-PCI(プローブカード検査)は、プローブカードを総合的にチェックするための多機能、非接触、非破壊検査ツールです。
    エアベアリングステージと最先端のセンサーおよびビジョンシステムを組み合わせることで、フルサイズのスクエアダイレクトドックプローブ カードでも、プローブカードの先端、ヘッド形状、PCB表面の高精度データを取得できます。 さらに、専用の測定アルゴリズムにより、データ取得と分析の両方のルーチンをシームレスに実行できます。