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半導体・液晶の次世代装置へ向けたレーザスケールの提案
・3次元計測システムに特化した新型Zセンサを出展します。新型Zセンサ２次元スケールシステムにより、省スペースで6DoF計測が実現します。
・全周で±0.1秒以内の高精度で角度を検出する非接触自己校正型ロータリエンコーダを出展します。装置校正用の基準器としても最適です。
独自のVEDAメソッドを使用した自己校正で一周±0.1秒角度の高精度を実現しています。 ロータリテーブルの誤差計測や校正作業が、レーザ干渉計並みの精度で可能です。