あなたの研究開発にARIM最先端装置をご活用ください！
概要
マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）では、全国25の大学、研究機関が参画し、各機関が保有する最先端設備を一般の企業の方へも自由に使っていただける設備共用サービスを行ってます。3つの技術領域（１）透過電子顕微鏡に代表される計測、分析技術、（２）成膜・リソグラフィ・エッチングなどの加工、デバイスプロセス技術、（３）合成技術による物質創成と観察・評価を行う物質・材料合成技術、をすべてカバーしています。前事業のナノテクノロジープラットフォームで培ってきた全国的な最先端設備共用体制と高度な技術支援を提供する専門技術者等の基盤を活かしつつ、新たにデータ収集、利活用という新しい視点を加え、2023年末にはデータ共用を試験的に開始しました。展示ではマテリアル先端リサーチインフラでの共用サービスの概要についてご紹介します。
半導体微細加工技術により進展した、ナノメートルオーダーの加工と分析・評価装置を用いた微細加工技術や計測評価技術は、半導体、電子デバイス産業のみならず光デバイス、バイオ・ライフサイエンス、環境技術、エネルギー技術など多くの分野を支える基盤技術として産官学において広く活用されています。しかしながらナノテクノロジーを支える設備は高価なものが多く、一企業、機関で必要な設備群を保有することは難しく、さらに性能の維持や操作にも専門の技術が必要であるなど、専門外の方には必ずしも使いやすいものではありません。このような背景のもと、文部科学省では2002年から20年以上にわたり大学や公的研究機関が保有する最先端の研究設備を共用化する事業が継続して実施され、広く産官学の研究者に機器利用などのサービスを提供する仕組みを構築し、現在、全国の企業、研究機関、大学の方に年間3000件以上の利用を頂いています。
利用可能な装置の例
リソグラフィ装置
電子線描画装置、マスクレス露光装置、レーザー描画装置 等
成膜、膜堆積装置
原子層堆積装置、多元スパッタ装置、プラズマCVD装置、各種蒸着装置 めっき 等
膜加工、エッチング装置
RIE装置、D-RIE装置、レーザー加工装置 集束イオンビーム加工装置 等
熱処理、ドーピング
イオン注入装置、アニール炉、ランプアニール装置 等
表面処理
プラズマ処理装置 等
形状観察、分析
走査電子顕微鏡、走査プローブ顕微鏡、分光分析装置、X線回折装置、膜厚測定装置 等
切削、接合、研磨
ウエハ接合装置、CMP、ダイシング装置 等
電気計測
電子材料・デバイス評価,太陽電池評価,ワイアボンダ
機械計測
振動・変形測定,粒子測定
シミュレーション CAD
デバイスシミュレータ,プロセスシミュレータ,CAD