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ウェハー温度計測用ウェハーロガーをメインに様々な需要に対応します
ウェハー温度分布高精度計測用センサをメインに実機紹介させていただいております。ウェハー上のメモリに記録するロガータイプ（最大１７点計測）は１２インチウェハーに対応し温度計測完了後専用のドックに収納しデータ収集可能です。有線接続タイプは１インチ、6インチ、８インチ、１２インチ、１８インチ、異形と幅広くラインナップしており低温から高温まで（－195℃～＋500℃）対応しており最大で7３点温度計測が可能です。