株式会社エイチ・ティー・エルの出展ブースにぜひお立ち寄りください。
●フォトマスク用座量測定装置、欠陥検査装置 － ブイ・テクノロジー社製品
LSI:レジストレーション測定装置、外観検査装置、欠陥修正装置、マスクライター（2nd layer）
FPD:精密座標測定装置、FIB欠陥修正装置、欠陥修正装置、外観検査装置
●ウェーハRTPアニール装置 LEVO6000 － Levitech社製品
次世代RTP(Rapid Thermal Processing)システム
●走査型超音波顕微鏡 ー PVA TePla Analytical Systems社製品
高解像度の非破壊検査装置 (マニュアル機/自動機）、以下の機能の搭載が可能
・低周波のトランスデューサーを高周波 (GHz)帯相当に増幅して検査するTone burst
・対象物の反りに対応し、常に表面から一定の焦点距離をキープし検査するHiSA
・上層から下層まで透過検出できるDynamic Through Scan
●卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積装置（ALD / PEALD) － Arradiance社製品
テーブルトップのコンパクトサイズながら原子レベルレイヤーの成膜が可能
カーボンナノチューブ（CNT）やグラフェン、粉体にも成膜可能。