装置開発や製造工程で、以下のような課題はありませんか？
・低発塵化やコンタミ対策を強化したい
・装置のタクトタイム短縮と高精度化を両立したい
・ケーブル取り回しを簡単に、設計をシンプルにしたい
当社のμDDモータは、前~後工程まで半導体製造装置に最適なソリューションを提供いたします。
是非弊社ブースにお立ち寄りいただき、製品の性能や実用性をお確かめください。
新製品ご紹介
初展示 θステージ特化型「MRS-100」
・外形φ100・中空径φ55㎜のダイレクトドライブモーターです。
・クロスローラベアリングを内蔵し、アキシャル荷重1500Nまで許容。
・面精度±5μm、NRROの向上によりウエハ検査などの精密回転に対応。
※現在開発中の製品のため、仕様が変更される場合がございます。
デモ機ご紹介
吸着実装 多目的スカラロボット
中空軸配線とエアーチューブの一本化により、装置を省スペース化。
μDDモータの強みを最大限に生かしたスカラデモ。
高分解能エンコーダの一体成型構造により繰り返し精度1μmを達成可能。
水晶振動子やチップなどのアライメントヘッドθ軸に最適。
主な用途：
◎ダイボンダ ◎ワイヤーボンダー ◎フリップチップボンダ ◎マウンタ ◎ウエハ搬送ロボットetc.
デモ機ご紹介
ウエハリフター
外径φ30の小型中空モータを三軸使用したウエハの昇降デモ機。
モータの中空軸にボールねじを貫通させた設計で、全長を抑えつつ一軸120N以上の推力を実現。
外力を電流としてフィードバックすることで、最小の予知検出システムを構築可能。