半導体製造装置⽤に設計・製造されたSolid State Cooling Systems社のペルチェチラーをご紹介いたします。
このチラーは、⾼性能なペルチェデバイスと熱交換効率に優れたプレートヒートエクチェンジャーを搭載したコンパクトで省エネ効果が極めて⾼い製品です。
また、このチラーは以下の特⻑を持っております。
✔ チラーの電力消費量を最大90%削減
✔ チラーの冷却水への排熱量を大幅に削減
✔ シールレスポンプ搭載により高価なガルデン/フロリナートの消耗量を大幅に削減
✔ ラックに搭載して設置エリアの省スペース化を実現
✔ 温度追従性が高くウエハー間の温度ばらつきを改善
✔ 駆動部品がポンプとファンのみで故障率が大幅に低減
✔ モジュールパーツの採⽤により修理が容易でダウンタイムも⼤幅短縮
是非、この機会にチラーのペルチェ化をお考え下さい。