私達は皆様の課題解決のパートナーとして、最高性能の装置、最高の顧客満足を提供する世界ブランドの企業を目指してまいります。
業界トップシェアを誇ってきた電子ビーム描画装置を一新し，パワーアップして生まれ変わった【BODEN】をご紹介致します．見た目はもちろんの事，加速電圧・チャンバーサイズ・搬送機構・除振台を用途や環境に合わせて選択できるモジュールシステムや新規設計した偏向系によるスループットの向上，ユーザーフレンドリーな新ソフトウェアなど，たくさんの見どころを是非この機会にご確認下さい．また，400MHzスキャンクロックと高速ステージを採用したハイエンドモデル【BODENΣ】も併せてご紹介致します．
電子ビーム描画装置の他，Electron Cyclotron Resonance (ECR) 方式のイオンビームを用いたエッチング/スパッタ装置もご紹介致します．
EBLからエッチング・成膜まで一連のプロセスのご相談もお受けしておりますので，是非，弊社ブースへお立ち寄り下さい．