English - 英語
液体気化供給システムのパイオニアとしてこれからも開発主導型企業を目指し、様々な産業の発展に寄与していきたいと考えています
マスフローコントローラ（Mass Flow Controller、MFC）は、半導体や液晶製造工程、その他電子デバイスの製造工程で使用される各種気体及び液体の質量流量を高精度で制御する機器です。気体及び液体の流量を体積ではなく質量で制御するため、温度や圧力に依存することなく、極めて高精度で流体を制御することができます。
また、半導体デバイスの3D化により、高機能な薄膜を形成することが求められており、High-k、Low-k、各種メタルなど、様々な液体材料の気化供給要求が増加しています。そうした近年増加傾向にある新たなプロセスへ対応するべく、液体気化供給システムのパイオニア企業として、様々なシステム提案を行っております。