静電気の力を最大限に引き出し、社会に貢献していく静電チャックのパイ
オニア
クリエイティブテクノロジーです！
弊社は、静電チャック、ヒータ、センサの設計・開発・製造・販売を行い、全世界に供給しているメーカーです。アプリケーションを問わず、要望に応じたサービスを展開しております。
弊社の主力製品を紹介させて頂きます。
真空中でワークを把持する静電チャックを長年再生、新品製作をしております。
ポリイミド、溶射、セラミックスといった様々な材質の静電チャックを取り揃えており、ウェハサイズも4インチ～12インチが対応可能です。また弊社では静電チャックの新品製作・再生のみならず、ESCの長寿命化に取り組んでおります。弊社の静電チャック技術は国内外問わず多くのデバイスメーカー様に信頼頂いております。静電チャックにお困りの際はいつでもご用命くださいませ。
パーティクル対策アイテムも提供しております。クリーニングウェハやパーティクルコレクターといった弊社のパーティクル対策品は塵・ホコリ・ダストなどの異物にお困りのお客様から数多くのお引き合いを頂いております。パーティクルにお困りのお客様はいつでもご用命くださいませ。
IonPadは高い把持力を持つ搬送パッドです。
高い吸着力は反ったウエハ搬送にお困りのお客様のニーズに答えます。
搬送困難な反りウェハの位置ズレ、搬送ズレによるエラーに対し、搬送スピードを落とすしか対策が無かったお客様も、IonPadを実装した事により搬送スピードを落とす事無く搬送エラー対策が可能になったと好評頂いております。ウエハ搬送にお困りのお客様はいつでもご用命くださいませ。