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水準をデジタルでモニターできるデジタル水準器を出展します。センサ部は70g（有線式SUSベース）と超小型、軽量なためウェハ搭載部の水準の調整に使用できます。精度0.001度（ゼロ点繰返し精度）で高精度に測定可能です。