分光分析の挑戦！
光計測から半導体産業を支える
システムズエンジニアリングは、サーモフィッシャーサイエンティフィック社のリサーチグレードFT-IRとジェーイーエル社の自動搬送システムを搭載した次世代型FT-IR"SE-50シリーズ"を製造しています。
N2によるパージ性能と測定効率を追求し、業界最高水準の高精度計測が可能です。
SE-50シリーズでは、お客様の目的に合わせた多彩なアプリケーションをご用意しています。
・EPI膜厚(Si,SiC,SOI)
・シリコン中の炭素・酸素濃度
・BPSG膜中のリン・ボロン濃度
・SiN膜中の水素濃度
・シリコン酸化膜中のフッ素濃度
・非拡散層膜厚
・その他カスタマイズ
・酸素濃度
ブースでは、SE-50シリーズの特長をご紹介しています。
ぜひお立ち寄りください。