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アドバンスドパッケージ分野の材料開発やプロセス開発に関わる最新の分析技術を紹介します。是非お気軽にお立ち寄りください。
ナノ粒子の汚染制御が求められる半導体製造プロセスにおいて低発塵部品の開発支援や、 適切な洗浄法の開発支援、そして急速に普及が進むAdvanced Package材料開発支援 について、各種評価技術をご紹介します。
また、この度つくば産総研内に新たに分析ラボを設置し、電子顕微鏡による分析サービスを 開始しましたので、その情報も併せてご紹介します。