半導体教育、研究開発、製造ライン向けソリューションなど、幅広いソリューションをご紹介いたします。
【ミニマルファブ】当社は、試作をはじめとするデバイス作製に関する検討、装置導入支援から立ち上げ、運用、アフターサービス、教育・トレーニングにいたるまで、ワンストップでソリューションサービスをご提供しております。
SEMICON Japan2024では、ミニマルファブでの人財育成のご紹介とともに、試作事例のご紹介や試作のご相談も承っておりますので、ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。
【半導体の困りごと解決】こちらでは半導体製造伴走支援サービスをご紹介いたします。YOKOGAWAは内製半導体生産工場の運営で得た知見やSEMIなど業界団体での活動実績をベースに、半導体製造にかかわるさまざまなサービスをお客様にご提供してまいりました。サービス一例として、デバイス検証試作、ミニマルファブを用いた高効率少量多条件試作、部屋・工場の環境構築、製造装置提案・導入、生産システム構築支援、製造装置メーカー公認保守メンテ、半導体人財育成・教育等の多岐実績がございます。これらのノウハウを総動員することで、お客様の半導体製造におけるデバイス試作から生産・ライフサイクルに至るまで、お困りごとを包括的に解決し、ご支援いたします。
【レガシー装置サービス】製造メーカーがEOS宣言をした装置を製造メーカーから正式にビジネス移管を受けて保守サポートを行っております。
この保守サポート（メーカー継承サービス）は、対象装置のエンジニアスキル、技術情報、サプライヤ情報等も継承されます。当社が移管を受けた後の装置延命中心とした保守サポートについてご説明いたします。
【Piezocon】半導体製造工程でのガス濃度はプロセスに直接影響を与えます。そのガス濃度の安定性の実現、管理の重要性が年々厳しくなってきております。
Piezoconは、100ppmオーダーでの濃度管理に加え、濃度変動によって発生するプロセストラブルを解決することができます。
【ペルチェチラー】
環境問題を意識したチラーをご提案致します。
「フロンを使わないため環境に良い」、「ペルチェ素子を使った温度コントロールによる省エネ」、「可動部、交換部品が少ないため故障が少ない」と時代に合ったコンセプトで設計されております。
チラーの置き換えをご検討をされていましたら、ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。
【装置オンラインシステム、ILC露光工程インラインシステム】
業界標準仕様であるSEMI Standard（GEM, GEM300,EDA I/F）に対応し、半導体製造装置と上位システム（HOST）のオンライン運用を容易に実現します。装置オンラインと合わせ、装置稼働率向上を支援します。
露光工程インラインシステムは現像装置の連携制御により露光工程の見える化で業務の省力化、および効率向上をご支援いたします。
【設備予兆保全ソリューション】
確かなセンシングによりデジタル化されていない既存設備の状況を見える化し、
IIoTやAI技術との連携で劣化兆候をとらえ、予防保全などのDXを推進します。
【ものづくりとアフターサービスの連携】
サービス業務全般の業務効率UPをご提案します。
次の業務において大きな効果が得られます。１）迅速な部品品番特定 ２）適正在庫の維持 ３）予防保守サービス業務へ対応