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ニッチな分野で次世代半導体開発のお手伝い
探求心と創造力を支えるＹＯＮＥＫＵＲＡ
ＹＯＮＥＫＵＲＡは試験機メーカーとしてお客様に寄り添った最適な製品やサービスの提供を追求してきました
これからも品質の向上、安全や技術発展につながる製品づくりを進めて、今後の半導体開発の未来に貢献していきたいです
☆出展製品☆
☆ミニマルファブ
～多品種少量生産向けクリーンルームレスの半導体製造モデルに参画しています
・集光加熱（酸化膜形成プロセス）
→赤外線集光加熱方式を採用しMAX1300℃までの急速加熱を可能しています
→真空・封活性ガスの使用にも対応しています
・水プラズマ（レジスト除去プロセス）
→超純水の水プラズマを使用し、高速かつ低温でのアッシングを可能しています
→熱ダメージを低減して廃液、薬液の処理が不要になります
→イオン注入後の硬化膜にも対応しています
https://www.caty-yonekura.co.jp/assets/minimalshiryou.pdf
☆DCB装置（ウエハ接合強度評価装置）
～接合ウエハの接合強度を定量的に測定ができる装置です
→接合ウエハのの張り合わせ強度を評価できる装置
→剥離動作の自動化に再現性の高い強度評価が可能
→高感度NIRカメラでウエハの剥離距離を測定し強度評価をします
☆IRイメージ炉
～ハロゲン光を利用した最高温度1800℃まで対応している加熱装置です
→高速昇温高速冷却を可能にした小型RTA装置です
→小型なデスクトップタイプながらウエハ2～4インチまで対応します
→真空チャンバー構造で雰囲気制御も柔軟に対応できます
→デバイス等の加熱環境下の実験が容易に実現可能です