リソテックジャパン

●主な特徴

　基板搬送ロボット搭載

　スピン塗布ユニット/スピン現像ユニット搭載

　２～8インチウェーハ対応

　研究開発用途や少量多品種の生産に対応

　各種塗布材料及び現像材料毎に仕様をご提案

●自動塗布装置　LITHOTRAC　CB-50　（コータ・ベーク）

　プロセスや各種塗布材料に応じた機能により最適な塗布処理が行える自動スピン塗布装置です。

●自動現像装置　LITHOTRAC　DB-50　（現像・ベーク）

　露光後のPEB処理から現像、リンス、ハードベークまで安定した処理が可能です。

●自動塗布/現像装置　LITHOTRAC　DUAL-1000（コータ・現像・ベーク）

　塗布ユニットと現像ユニットを搭載したモデルです。ベークプレート、クーリングプレート、

　HMDS処理ユニット、基板搬送ロボット等の自由な配置が可能です。

●主な特徴

　1～8インチウェーハ対応

　薬液のオートディスペンス

　エッジリンス、バックリンス

　ウェーハの自動センタリング機構付き

　スピン塗布

●LithoSpinCup 200/800/1200C

    リソスピンカップコータは化学増幅型レジスト、ｇ線/i線レジスト、厚膜レジスト等の様々な塗布材料と

　基板サイズに対応したマニュアル塗布装置です。

●LithoSpinCup 200/800/1200D

　アルカリ現像及び有機現像に対応しています。有機現像では防爆型安全仕様や

　消火システム/防火/防煙ダンパ等に対応した安全仕様になっています。

　高性能200℃ベークプレートを搭載し、面内温度均一性に優れたウェーハ熱処理装置です。

　基板サイズに合わせてレイアウトされたリフトピンとプロキシミティピンにより設定された時間のベークが可能です。

　LWB-03H

　最大温度400℃に対応したモデルです。

●クーリング付きベーク装置　LWB-03P

　ベークプレート、クーリングプレートと搬送アームがついたモデルです。

　現像前のPEB等の熱履歴管理を必要とする工程で有効です。プリベークやレジスト塗布前の温調にも有効です。

●ＨＭＤＳベーク処理装置　APPS-30

　バブリングさせたHMDSを使ってHMDS雰囲気下で熱処理をすることができるモデルです。

　マニュアル装置ですが、処理後にチャンバ内の雰囲気を置換し、ガイドアームによる安全なウェーハ搬送が可能です。