当社クリーンルームにて各種デモが可能です。
営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、仕様決め迄トータルサポートします。
設計・製造・技術の要
株式会社カナメックスです。
実機出展
・枚葉式有機洗浄装置（新デモ機）
ウエハ表面を高圧ジェット、加温剥離液、純水２流体で洗浄し
リンス後、スピン乾燥させます。
剥離液のリサイクルにより省薬液で低環境負荷の処理が行えます。
メタルのリフトオフにも使用できます。
従来方式に比べ、バリやレジスト残渣の除去が可能です。
メタルの回収も可能です。
・オゾン水ユニット
有機物除去、表面酸化、金属不純物除去、レジスト残渣除去効果があります。
・脱気水ユニット
溶存酸素低減、超音波の音圧向上による洗浄効果アップ
・ホーン型超音波（低周波）ユニット
有機溶剤に対応した超音波ユニットです。
メタルのリフトオフ等各種剥離処理に使えます。
その他、パネル展示等
・枚葉スピン式自動ＲＣＡ洗浄装置
・枚葉式チップ洗浄装置
・3段チャンバー循環式自動スピンエッチング装置
・両面同時薬液処理対応装置
・Au、Ti、Cuなど各種メタルエッチング装置
・ＣＭＰ・各種研磨後用 スクラブ洗浄装置
・その他フォトリソ関連装置
（塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄）
・コーターデベロッパー
・□600mm対応スピン洗浄装置
・枚葉式スピン メタルリフトオフ装置
・エキシマUVユニット
当社クリーンルームにてフォトリソ工程の各種デモが可能です。
営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、
仕様決め迄トータルサポートします。
当社ブースへのご来場お待ちしております。
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