半導体製造プロセスでは、微細な副産物（Byproduct）が装置内に蓄積し、配管や機器のトラブルの原因となることがあります。
この課題を解決するために開発されたのが、副産物捕集装置「Trap」です。
Trapの特長
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配管保護：副産物の蓄積による詰まりを防止し、安定したプロセスを実現
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機器保護：ポンプ（Pump）やスクラバー（Scrubber）への負荷を軽減
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安定稼働支援：装置全体の稼働安定化とプロセスの効率向上に貢献
信頼性の高いTrapは、半導体製造現場の安全性を確保しつつ、運用コストの低減にも貢献します。