弊社ではSC事業部とWP事業部の二事業部が出展しております。
SC事業部では、様々な自動化システムを設計・製作しています。
クリーンコンベヤ、ウエハ・パネル移載機、カセット包装機、チップハンドラなど様々な自動化装置を提供しています。
WP事業部は、半導体向け自動／手動洗浄装置（クリーニングおよびエッチング）、高発電効率太陽電池ウエハ用テクスチャリング装置、 各種精密洗浄装置、半導体製造向けIPA乾燥装置の開発、製造、販売を行なっております。今回は、世界トップシェアを誇るIPAベーパー乾燥装置、及び長年のIPAベーパー乾燥装置の設計・製造経験並びに多くの事例で培ったノウ・ハウをつぎ込み開発したIPAミスト直接乾燥装置を展示し、その性能や仕様を専門スタッフがご説明致します。