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ダイフク

小牧市,  愛知県 
Japan
http://www.daifuku.com
  • 小間番号S2003

当社は半導体製造工程の保管・搬送システム(AMHS)を手掛け、世界中の半導体メーカーさまの⾼次元な効率化、クリーン化、低振動化を実現する製品を提供しています。

今回の出展ブースでは、近年自動化が進む半導体後工程に向けて、天井⾛⾏式無⼈搬送⾞(OHT)に加え、パートナー企業製の移載機付き地上⾛⾏無⼈搬送⾞(AGV/AMR)を実機展示します。ダイフクでは⾃社製のAMHSにとどまらず、世界に広がるパートナー企業の製品も組み合わせて、最適・最良のソリューションを提供できることを紹介します。
皆さまのご来場をお待ちしております。


 プレスリリース


 出展製品

  • Overhead Hoist Transport (OHT)
    天井走行無人搬送車。前工程に用いられる300mmWafer用FOUPだけでなく、600mm角基板を扱えるPanel Level Package用FOUPの搬送にも対応し、前工程だけでなく後工程の搬送にも対応可能。...

  • 一般的に、天井走行無人搬送車と呼ばれています。前工程に用いられる300mmウェハ用FOUPだけでなく、600mm角基板を扱えるパネルレベルパッケージ用FOUPの搬送にも対応し、前工程だけでなく後工程の搬送にも対応可能です。
  • STK (Stocker)
    搬送物を一次的に保管するための装置。こちらも前工程に用いられる300mmWafer用FOUPだけでなく、600mm角基板を扱えるPanel Level Package用FOUPの搬送にも対応。FOUPの一時保管用に酸化防止の窒素を充填することも可能。...

  • 搬送物を一次的に保管するための装置です。当社製品のクリーンウェイシリーズ(OHT/天井走行無人搬送車)と同様に、前工程に用いられる300mmウェハ用FOUPだけでなく、600mm角基板を扱えるパネルレベルパッケージ用FOUPの搬送にも対応しております。FOUPの一時保管に際し、酸化防止の窒素を充填することも可能です。
  • ZFS (Zero Footprint Storage)/OHB (OverHead Buffer)
    OHTの軌道下または軌道横に設置されたCareerの仮置き棚。300mmWafer用FOUPだけでなく、600mm角基板を扱えるPanel Level Package用FOUPの保管にも対応。STKと同じく酸化防止の窒素を充填することも可能。...

  • OHT(天井走行無人搬送車)の軌道下または軌道横に設置された容器の仮置き棚です。300mmウェハ用FOUPだけでなく、600mm角基板を扱えるパネルレベルパッケージ用FOUPの保管に対応した製品もございます。クリーンストッカーシリーズと同じく、容器に酸化防止の窒素を充填することも可能です。
  • Tower Lifter
    複数フロアからなるFabに対して納入される、AMHSの短Lead-Time要求に対応した搬送を目的とした、搬送物を各階へ供給する搬送物用エレベーターのような機器。...

  • 搬送物を各階へ供給するエレベーター状の機器です。AMHS(自動搬送機器)のリードタイムを短くするという要求に応えるため、複数階層で構成されるFab(工場)に納入されます。
  • Material Handling Control System (MCS)
    OHT/STKとMESとの間に設置され、MESからの各種指示を各搬送設備に適時伝え、各搬送設備からの報告をまとめてMESへ伝達する機能を有するシステム。...

  • MES(生産管理システム)と、当社のOHT/STKの中間に設置されるシステムです。二つの機能があり、一つはMESからの各種指示を適切なOHT/STKに適時伝えること、もう一つは各OHT/STKからの報告をまとめてMESへ伝達することです。