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当社は半導体製造工程の保管・搬送システム(AMHS)を手掛け、世界中の半導体メーカーさまの⾼次元な効率化、クリーン化、低振動化を実現する製品を提供しています。
今回の出展ブースでは、近年自動化が進む半導体後工程に向けて、天井⾛⾏式無⼈搬送⾞(OHT)に加え、パートナー企業製の移載機付き地上⾛⾏無⼈搬送⾞(AGV/AMR)を実機展示します。ダイフクでは⾃社製のAMHSにとどまらず、世界に広がるパートナー企業の製品も組み合わせて、最適・最良のソリューションを提供できることを紹介します。 皆さまのご来場をお待ちしております。
半導体製造においては24時間365日の稼働を実現する信頼性の高い搬送・保管システムが欠かせません。生産設備の稼働率を最大化するクリーンルーム用搬送システム「クリーンウェイ」や、半導体の微細化に対応する窒素パージ式の保管システムなど、ダイフクの半導体生産ライン向けシステムについて、クリーンルーム事業部のエンジニアリング部門および設計部門の担当者が解説します。 (続きはコチラをクリック)