半導体全工程材料ハンドリング専門
Youibotが開発したOWシリーズのモバイルマニピュレータロボット（OW12、OW8、OWCおよびその他の複数モデル）は、半導体製造プロセス全体における多様な材料の完全自動化ハンドリングを目的として設計されています。対象材料には、12インチおよび8インチのFOUPポッド、SMIFポッド、オープンCST、マガジンなどが含まれます。柔軟なコボット、エンドグリッパーおよびビジョンセンサーを装備したこれらのロボットは、上部クランプ治具で材料を正確に把持し、ウエハーへの直接接触を最小限に抑え、搬送中の振動を低減します。本シリーズは平坦な地面において振動を0.5G以下に抑えることができ、業界の厳しい基準を満たしています。電子棚だけでなく、OWロボットはYouibotのATSシリーズ（ウエハートランスファーバス）およびプロセス装置ともシームレスに連携し、材料の完全自動ピックアップと安定した輸送を実現します。これにより、半導体材料のエンドツーエンドのフローに対する理想的な自動化ソリューションを提供し、運用の一貫性と効率を大幅に向上させます。