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ローツェ

福山市神辺町道上,  広島県 
Japan
http://www.rorze.com
  • 小間番号S1723


反りウエハ対応ロボットハンドとPLP対応ロボット、ロードポート等を展示しております。是非ローツェブースにお越しください。

ローツェ株式会社は自動化・モーションコントロールのベース部分となる、モータドライバ・コントローラから、ロボット、ロードポート(LP)、アライナ等の自動化単体モジュール、それらを使用したEFEM、ウエハソータ、真空プラットフォーム等の装置に加え、工場HOSTとの通信含めた全てのソフトウェアまで、グループ企業内で全て開発・製造している垂直統合メーカです。 
これまで創業以来、半導体製造装置メーカ様向けに提供し続けてきたソリューションのほか、エンドユーザ様向けのウエハソータ、ベアウェハストッカ、パージ(N2,XCDA)対応ウェハストッカ、ALP(FOUP移載補助装置)等のFAB向けの自動化ソリューションも提供させて頂き、ウルトラクリーン性能及び高い製品信頼性により世界各国のエンドユーザ様からサプライヤ賞を頂くなど、高い評価を受けております。

今回、反りウエハの吸着搬送を可能にしたハンド部を搭載したロボットとPLP対応のロボット、ロードポートを展示します。

その他、VPDやレーザーアブレーションを用いたウエハ分析装置、チップ分割装置等についての動画展示をしています。


 プレスリリース


 出展製品

  • フラップリスト搭載ロボット
    反りウエハ、薄型ウエハの吸着搬送に適した「フラップリスト」(ロボットハンド部)を開発しました。 「フラップリスト」を搭載したロボットにて、反りウエハを想定したワークの搬送を実演しています。...

  • 当社では、従来のシリコンウエハに加え、製造過程で変形した「反りウエハ」や極限まで薄化された「薄型ウエハ」などもフレキシブルにハンドリングすることを可能にした「フラップリスト」を開発しました。

    リストの先端へ一対に配置された真空吸着式のフィンガが上下に可動しながら、搬送物の形状に合わせて吸着・保持することで精密な搬送をすることができます。

    また搬送物の姿勢を平坦化させる機能も持ち合わせております。

    今回は上記の機構に加え、反転機構を追加したリストをロボットに搭載した状態で展示し、機能の実演をしております。

  • PLP搬送用ロードポート・ロボット
    ロードポートに搭載されている高解像度カメラによるマッピングとロボットの各動作におけるデータのリアルタイムモニタリングについて実演しています ...

  • 当社では、PLP搬送用ロードポートとロボット(リスト)を開発しました。

     本展示では、実機を用いた以下の機能について実演をしております。

    〇ロードポートに搭載した高解像度カメラによるマッピング機能

    ロードポートに搭載されている、高解像度カメラをマッピングセンサーとして活用し基板の状態、厚み、形状を認識する機能となります。

    カメラにて認識された情報のモニタリングを実演します。

      

    〇ロボット動作状況のモニタリング機能

    当社独自のバスシステムを用いて、動作中のモータトルク状況、定点での振動状況(加速度)、ワークの把持状況(真空圧力センサ値)をリアルタイムにモニタリングできることを実演します。