▶レーザー式欠陥検査装置「K-LE-G100」
・高速検査（約3分/12inch）
・PSL 50nm（オプション追加で40nm）相当の微小欠陥検出
・レーザー式で検出した欠陥をオプションのレーザー顕微鏡で観察することで欠陥の凹凸判定が可能
▶顕微鏡式欠陥検査装置「K-IM-G100」
・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能
・他装置で検査したウェハの欠陥座標を元に観察・欠陥アルバムの作成が可能
▶外観検査装置「K-VI-G100」
・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別可能
・AI機能も実装しており、学習を進めることで欠陥弁別精度向上が可能