“동서라인텍에서 정밀 인라인 공정 분석 기술의 차이를 확인해 보십시오.”
Overview
2002년 창립 이래 당사는 “공정 효율화를 위한 토탈 솔루션 제공” 이라는 슬로건 아래 반도체,
2차전지, 석유화학, 수질 및 대기 등 다양한 산업 분야에서 무인 자동 분석 기술의 혁신을 실현해 오고 있습니다.
당사가 공급하는 CCM SMART는 CMP 공정에서 과산화수소(H₂O₂), 슬러리 함량, 밀도, 전도도 및 온도를 초음파와 전도도 방식으로 정밀 측정하는 인라인 분석 장비입니다.
CMP 공정 라인에 적용되어, 현장의 실시간 약품 농도 분석과 슬러리 함량 모니터링을 지원하는 최적의 솔루션으로 자리매김하고 있습니다. 이를 통해 고객사는 공정 안정성 향상과 품질 균일화, 생산 효율 극대화를 실현할 수 있습니다.
전국적인 대리점 네트워크 운영을 통해 모든 분석기와 장비가 항상 최상의 성능을 유지하도록 체계적인 서비스를 제공하고 있으며, 앞으로도 최고 성능의 분석 솔루션과 최상의 고객 지원을 위해 최선을 다하겠습니다.
[제품 소개]
CMP 공정 중 인라인 과산화수소 농도계
- CMP 공정에서 과산화수소(H₂O₂), 슬러리 함량, 밀도, 전도도 및 온도를 초음파와 전도도 방식으로 정밀 측정하는 인라인 분석 장비입니다.
- HMI와 센서 박스로 구성된 분리형 유닛 디자인으로 공정 근처 어디에나 유연하게 설치할 수 있습니다.
반도체 유리기판 공정 중 인라인 구리 & 황산 농도계
- 반도체유리기판 생산 공정 중 구리 및 황산 농도 실시간 측정
- 샘플링이 필요 없고 유지 보수가 최소화된 정밀한 인라인 모니터링을 통해 제품 품질을 개선하고, 공정 안정성을 향상시키며, 운영 비용을 절감할 수 있습니다.
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